[发明专利]加工装置

说明书

本发明的加工装置在加工对象物中形成构成改质区域的改质点。本发明的加工装置具备：第一照射部，其向加工对象物照射第一光，在加工对象物的一部分区域使吸收率比第一光的照射之前暂时地上升；及第二照射部，在一部分区域的吸收率暂时地上升的吸收率上升期间，向该一部分区域照射第二光。

技术区域

本发明的一方面涉及加工装置。

背景技术

现有技术中，已知将构成改质区域的改质点形成于加工对象物中的加工装置。作为这种技术，例如，专利文献1中记载了激光加工装置。根据专利文献1中记载的激光加工装置，通过向加工对象物照射激光，在加工对象物的内部形成改质点。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2015-186825号公报

发明内容

[本发明所要解决的技术问题]

近年来，上述加工装置逐渐在多个领域中得到应用，因此，期望开发出能够容易地适用于各式各样的加工要求(例如，高分割力、抑制对加工对象物的损伤、或是兼具这两种性能等)的高附加价值的产品。

在此，本发明的一方面的目的是提供一种具有高附加价值的加工装置。

[用以解决技术问题的手段]

本发明者们进行了潜心的研究，其结果，在通过光的照射而在加工对象物中形成改质点时，在从其开始至结束为止的期间，发现了特征性的现象。具体而言，通过朝加工对象物的光的照射，加工对象物的一部分区域(例如，该光的聚光点附近。以下，有时也简称为“一部分区域”)吸收率会暂时地上升(第一阶段)。通过向吸收率暂时地上升的一部分区域照射光，从而在该一部分区域注入能量，使高温状态的一部分区域扩大(第二阶段)。其结果，发现了如下现象：即，在加工对象物中会形成改质点。并且，进一步发现，利用这种特征性的现象的话，能够容易地应对各式各样的加工要求，能够提高装置的附加价值，从而完成了本发明的一方面的要求。

即，本发明的一方面涉及的加工装置，是将构成改质区域的改质点形成于加工对象物的加工装置，其具备：第一照射部，向加工对象物照射第一光，在加工对象物的一部分区域中使吸收率比第一光的照射之前暂时地上升；及第二照射部，在一部分区域的吸收率暂时地上升的吸收率上升期间，向该一部分区域照射第二光。

在此加工装置中，向加工对象物照射第一光，将加工对象物的一部分区域的吸收率暂时地上升，通过在其期间将第二光照射在该一部分区域，从而形成改质点。由此，每当形成改质点时，可以分别根据第一阶段及第二阶段的各现象，将光区分为第一光及第二光而进行照射。通过将第一光及第二光各自的各种参数以及照射方式等适宜地进行改变，能够容易地应对各式各样的加工要求。因此，能够实现具有高附加价值的加工装置。

在本发明的一方面的加工装置中，也可以是：第二光的能量比第一光的能量高。由此，能够进一步根据第一阶段及第二阶段的各现象而照射第一光及第二光。

在本发明的一方面的加工装置中，也可以是：第二光的峰值强度比第一光的峰值强度低。由此，能够进一步根据第一阶段及第二阶段的各现象而照射第一光及第二光。

在本发明的一方面的加工装置中，也可以是：第二光的波长与第一光的波长不同。通过使第一光的波长与第二光的波长适当地不同，从而能够对加工对象物中的第一光及第二光的吸收乃至加工结果进行控制。

在本发明的一方面的加工装置中，也可以是：第二光是朝加工对象物单独照射该第二光时不会形成改质点的光。在该情况下，即使以常规方式第二光或是预先照射第二光也不会形成改质点，第一光起到开始改质点的形成的作为触发器的作用。不需要对第二光的照射时间点进行精密的控制。