[发明专利]锥形存储器单元轮廓有效

专利信息
申请号: 201980011249.3 申请日: 2019-01-29
公开(公告)号: CN111670498B 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: A·皮罗瓦诺;K·亚斯特列别涅茨基;F·佩里兹 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01L27/11551 分类号: H01L27/11551;H01L27/11578;H01L27/11529;H01L27/11573
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 王龙
地址: 美国爱*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 锥形 存储器 单元 轮廓
【权利要求书】:

1.一种存储器装置,包括:

自选存储器部件,包括沿第一方向具有第一底部长度的底部表面和具有小于所述第一底部长度的第一顶部长度的顶部表面,沿第二方向,所述底部表面具有第二底部长度,并且所述顶部表面具有等于所述第二底部长度的第二顶部长度;

顶部电极,与所述自选存储器部件的所述顶部表面耦合,所述顶部电极沿所述第一方向具有第一宽度;

底部电极,与所述自选存储器部件的所述底部表面耦合,并且经由所述自选存储器部件与所述顶部电极进行电子通信;以及

字线,其与所述顶部电极耦合,所述字线沿所述第一方向具有第二宽度,其中所述顶部电极的所述第一宽度与所述字线的所述第二宽度等于所述顶部表面的所述第一顶部长度,

其中所述第一底部长度、所述第一顶部长度、所述第一宽度和所述第二宽度沿所述第一方向定向,使得从所述底部表面到所述顶部表面的锥体增大相邻字线之间的距离以缓解相邻字线中的短路。

2.根据权利要求1所述的存储器装置,其中所述自选存储器部件的横截面包括沿所述第二方向的矩形。

3.根据权利要求1所述的存储器装置,其中所述自选存储器部件的横截面包括沿所述第一方向的梯形。

4.根据权利要求1所述的存储器装置,其中所述底部表面的面积比所述顶部表面大。

5.根据权利要求1所述的存储器装置,其中所述自选存储器部件包括硫族化物材料。

6.根据权利要求1所述的存储器装置,进一步包括:

数字线,沿所述第一方向与所述底部电极进行电子通信。

7.根据权利要求1所述的存储器装置,其中所述锥体包括阶梯状锥体。

8.根据权利要求1所述的存储器装置,进一步包括:

第二自选存储器部件,所述第二自选存储器部件从第二底部表面到与所述第二底部表面相对的第二顶部表面渐缩,

其中所述自选存储器部件的所述底部表面包含第一边缘,并且所述第二自选存储器部件的所述第二底部表面包含第二边缘,所述自选存储器部件的所述顶部表面包含第三边缘,并且所述第二自选存储器部件的所述第二顶部表面包含第四边缘,其中所述第一边缘与所述第二边缘之间的距离小于所述第三边缘与所述第四边缘之间的距离。

9.一种存储器装置,包括:

自选存储器部件,包括沿第一方向具有第一顶部长度的顶部表面和具有小于所述第一顶部长度的第一底部长度的底部表面,沿第二方向,所述顶部表面具有第二顶部长度,并且所述底部表面具有第二底部长度,所述第二方向不同于所述第一方向,其中沿所述第二方向,所述顶部表面的所述第二顶部长度大于所述底部表面的所述第二底部长度;

顶部电极,与所述自选存储器部件的所述顶部表面耦合;

底部电极,与所述自选存储器部件的所述底部表面耦合,并且经由所述自选存储器部件与所述顶部电极进行电子通信;以及

字线,其与所述底部电极耦合,所述字线沿所述第一方向具有第一宽度,其中所述字线的所述第一宽度等于所述底部表面的所述第一底部长度,

其中所述第一顶部长度、所述第一底部长度和所述第一宽度沿所述第一方向定向,使得从所述顶部表面到所述底部表面的锥体增大相邻字线之间的距离以缓解相邻字线中的短路。

10.根据权利要求9所述的存储器装置,其中所述自选存储器部件的横截面包括沿所述第二方向的倒梯形。

11.根据权利要求9所述的存储器装置,其中所述底部表面的面积比所述顶部表面小。

12.根据权利要求9所述的存储器装置,其中所述自选存储器部件的横截面包括沿所述第一方向的倒梯形。

13.根据权利要求9所述的存储器装置,其中所述自选存储器部件包括截头锥体。

14.一种方法,包括:

对自选存储器部件执行读操作,所述自选存储器部件从第一表面到与所述第一表面相对的第二表面渐缩,所述第二表面的面积小于所述第一表面的面积,其中,沿第一方向,所述第一表面具有第一长度且所述第二表面具有小于所述第一长度的第二长度;

至少部分地基于执行所述读操作来向所述自选存储器部件的所述第一表面施加具有正极性的电压;以及

至少部分地基于向所述自选存储器部件的大于所述第二表面的所述第一表面施加所述正极性来输出存储在所述自选存储器部件上的逻辑状态,

其中所述第二表面与字线耦合,所述字线沿所述第一方向具有等于所述第二表面的所述第二长度的第一宽度,

且其中所述第一长度、所述第二长度和所述第一宽度沿所述第一方向定向,使得从所述第一表面到所述第二表面渐缩的所述自选存储器部件增大相邻字线之间的距离以缓解相邻字线中的短路。

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