[发明专利]试样支撑体、电离法以及质量分析方法在审

专利信息
申请号: 201980011586.2 申请日: 2019-01-16
公开(公告)号: CN111684275A 公开(公告)日: 2020-09-18
发明(设计)人: 小谷政弘;大村孝幸 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62;G01N27/64;H01J49/04;H01J49/16
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;尹明花
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 试样 支撑 电离 以及 质量 分析 方法
【说明书】:

试样支撑体(1)是用于电离试样的试样支撑体。试样支撑体具备:具有彼此相对的第一表面(2a)和第二表面(2b)的基板(2)、和至少设置于第一表面的导电层(4)。在基板中的用于使试样的成分电离的实效区域(R),形成有在第一表面和第二表面开口的多个贯通孔(20),在多个贯通孔的各个中,第二表面侧的第二开口部(20b)的宽度比第一表面侧的第一开口部(20a)的宽度大。

技术领域

本发明涉及试样支撑体、电离法以及质量分析方法。

背景技术

一直以来,作为为了进行质量分析等而将生物体试样等的试样电离的方法,已知有激光解吸电离法。作为用于激光解吸电离法的试样支撑体,专利文献1公开了一种试样支撑体,其具备:形成有多个贯通孔的基板、和设置于基板的至少一个表面的导电层。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特许第6093492号公报

发明内容

[发明想要解决的技术问题]

在质量分析中,检测已电离的试样的成分,并基于该检测结果实施试样的质量分析。因此,在质量分析中,期望提高已电离的试样的成分的信号强度(灵敏度)。

本发明的目的在于,提供能够在质量分析中使已电离的试样的成分的信号强度提高的试样支撑体、电离法以及质量分析方法。

[用于解决技术问题的技术手段]

本发明的一个方面的试样支撑体是用于电离试样的试样支撑体,其具备:具有彼此相对的第一表面和第二表面的基板;以及至少设置于第一表面的导电层,并且,在基板中的用于使试样的成分电离的实效区域,形成有在第一表面和第二表面开口的多个贯通孔,在多个贯通孔的各个中,第二表面侧的第二开口部的宽度比第一表面侧的第一开口部的宽度大。

在该试样支撑体中,在多个贯通孔的各个中,第二表面侧的第二开口部的宽度比第一表面侧的第一开口部的宽度大。由此,例如,当以使第二表面面对试样的方式配置试样支撑体时,试样的成分能够经由多个贯通孔而平滑地移动至第一表面侧,并且试样的成分以适当的状态留在第一表面侧。因此,当一边对导电层施加电压一边对第一表面照射能量射线时,能够使试样的成分可靠地电离。因此,根据该试样支撑体,能够在质量分析中使已电离的试样的成分的信号强度提高。

在本发明的一个方面的试样支撑体中,可以为:从第一表面和第二表面彼此相对的方向观察时,在多个贯通孔的各个中,第二开口部的外缘位于第一开口部的外缘的外侧。由此,例如,当以使第二表面面对试样的方式配置试样支撑体时,试样的成分能够经由多个贯通孔而平滑地移动至第一表面侧,并且试样的成分以更加适当的状态留在第一表面侧。

在本发明的一个方面的试样支撑体中,可以为:多个贯通孔分别具有第一开口部侧的第一部分和第二开口部侧的第二部分,第二部分呈朝向第二开口部侧变宽的漏斗状的形状。或者,在本发明的一个方面的试样支撑体中,可以为:多个贯通孔分别呈朝向第二开口部侧变宽的圆锥台状的形状。在任一情况下,例如,当以使第二表面面对试样的方式配置试样支撑体时,试样的成分能够经由多个贯通孔而平滑地移动至第一表面侧,并且试样的成分以适当的状态留在第一表面侧。

在本发明的一个方面的试样支撑体中,可以为:在多个贯通孔的各个中,宽度的最小值为1nm,宽度的最大值为700nm。由此,例如,当以使第二表面面对试样的方式配置试样支撑体时,试样的成分能够经由多个贯通孔而平滑地移动至第一表面侧,并且试样的成分以适当的状态留在第一表面侧。

在本发明的一个方面的试样支撑体中,可以为:基板是通过对阀金属或者硅进行阳极氧化而形成的。由此,能够容易且可靠地获得形成有多个贯通孔的基板。

在本发明的一个方面的试样支撑体中,可以为:导电层由铂或者金形成。由此,能够容易且可靠地获得适于试样的电离的导电层。

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