[发明专利]等离子体处理装置、等离子体状态检测方法以及等离子体状态检测程序

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，具有：

载置台，其设置有加热器，所述加热器能够调整用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度；

加热器控制部，其控制向所述加热器供给的供给电力，以使所述加热器成为设定的设定温度；

测量部，由所述加热器控制部控制向所述加热器供给的供给电力以使所述加热器的温度固定，所述测量部测量等离子体没有点火的未点火状态和从等离子体点火起向所述加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力；

参数计算部，其使用由所述测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算模型进行拟合，来计算来自等离子体的热输入量，所述计算模型包括所述热输入量作为参数来计算所述过渡状态的供给电力；以及

输出部，其输出基于由所述参数计算部计算出的所述热输入量的信息。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，

在所述载置台中，针对将所述载置面进行分割所得到的每个区域单独地设置所述加热器，

所述加热器控制部针对每个所述加热器控制供给电力，以使在每个区域设置的所述加热器成为针对每个区域设定的设定温度，

由所述加热器控制部针对每个所述加热器控制供给电力以使温度固定，所述测量部针对每个所述加热器测量所述未点火状态和所述过渡状态下的供给电力，

所述参数计算部针对每个所述加热器，使用由所述测量部测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对所述计算模型进行拟合，来针对每个所述加热器计算所述热输入量，

所述输出部基于由所述参数计算部计算出的每个所述加热器的所述热输入量，来输出表示等离子体的密度分布的信息。

3.根据权利要求2所述的等离子体处理装置，其特征在于，

还具有变更部，所述变更部基于所述等离子体的密度分布来变更等离子体处理的控制参数，以使针对所述被处理体的等离子体处理均等化。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于，

还具有警报部，所述警报部基于由所述输出部输出的信息或该信息的变化来进行警报。

5.一种等离子体状态检测方法，其特征在于，计算机执行以下处理：

控制向加热器供给的供给电力以使所述加热器的温度固定，并且测量等离子体未点火的未点火状态和从等离子体点火起向所述加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力，所述加热器设置于载置台，并且能够调整用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度，

使用测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算模型进行拟合，来计算来自等离子体的热输入量，所述计算模型包括所述热输入量作为参数来计算所述过渡状态的供给电力，

输出基于计算出的所述热输入量的信息。

6.一种存储介质，记录有等离子体状态检测程序，其特征在于，所述等离子体状态检测程序使计算机执行以下处理：

控制向加热器供给的供给电力以使所述加热器的温度固定，并且测量等离子体未点火的未点火状态和从等离子体点火起向所述加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力，所述加热器设置于载置台，并且能够调整用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度，

使用测量出的未点火状态和过渡状态的供给电力对计算模型进行拟合，来计算来自等离子体的热输入量，所述计算模型包括所述热输入量作为参数来计算所述过渡状态的供给电力，

输出基于计算出的所述热输入量的信息。