[发明专利]感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法

权利要求书

1.一种感光层，其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，

所述感光层为由感光性树脂组合物形成的层，该感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，所述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。

2.根据权利要求1所述的感光层，其中，

所述感光层对于i射线的照射具有感光能力。

3.根据权利要求1或2所述的感光层，其中，

聚乙烯醇膜上的所述感光性树脂组合物的静态接触角为2°以上且60°以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光层，其中，

所述感光层中的树脂的由酸的作用产生的溶解速度的变化为溶解速度的下降。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光层，其中，

所述感光层中的树脂包含具有由下述式(1)表示的结构单元的聚合物，

式中，R⁸表示氢原子或烷基，L¹表示羰基或亚苯基，R¹～R⁷分别独立地表示氢原子或烷基。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光层，其中，

所述感光性树脂组合物中的钠离子、钾离子及钙离子的总含量为1质量ppt～1000质量ppb。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光层，其用于有机半导体层加工。

8.一种层叠体，其具有权利要求1至7中任一项所述的感光层和水溶性树脂层。

9.根据权利要求8所述的层叠体，其还具有有机半导体层，且依次层叠有所述有机半导体层、所述水溶性树脂层、所述感光层。

10.一种感光性树脂组合物，其用于形成感光层，其中，

所述感光层为与水溶性树脂层组合而形成层叠体的层，

该感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，所述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。

11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，其用于有机半导体层加工。

12.一种试剂盒，其用于依次形成水溶性树脂层和感光层，该试剂盒具有权利要求10或11所述的感光性树脂组合物和水溶性树脂组合物。

13.根据权利要求12所述的试剂盒，其用于有机半导体层加工。

14.一种权利要求10或11所述的感光性树脂组合物的制造方法，其包括：

调节组合物的含水量中的至少一个的步骤，所述组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、以及对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂；或者

调节组合物中所含的原料的含水量的步骤，其中，所述组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、以及对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂。