[发明专利]感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法

说明书

本发明涉及一种感光层，其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，上述感光层为由感光性树脂组合物形成的层，该感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，上述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。并且，本发明涉及一种与该感光层相关联的层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。

技术领域

本发明涉及一种感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。

背景技术

近年来，广泛利用使用了有机半导体的电子器件。与以往的使用了硅等的无机半导体的器件相比，使用了有机半导体的器件具有能够通过简单的步骤来制造的优点。进而，有机半导体能够通过改变其分子结构来容易地改变材料特性。并且，材料的变化丰富，认为能够实现如通过无机半导体无法实现的功能或元件。有机半导体具有例如适用于有机太阳电池、有机电致发光显示器、有机光检测器、有机场效应晶体管、有机电致发光元件、气体传感器、有机整流元件、有机逆变器、资讯记录元件等电子设备的可能性。

目前为止，已通过印刷技术来进行了有机半导体的图案形成。但是，利用印刷技术形成的图案在微细加工上存在极限。并且，有机半导体还具有容易受由有机溶剂的接触引起的损伤的问题。

因此，正在研究将水溶性树脂用作保护膜的有机半导体的图案形成方法。例如，在专利文献1中揭示一种层叠体，其在有机半导体层上依次包含特定的水溶性树脂层和感光层，且水溶性树脂层与感光层接触。由此，记载为实现基于感光层的曝光显影的微细图案，且能够抑制层叠体的龟裂。在专利文献2及专利文献3中揭示有一种层叠体，其在有机半导体层的表面具有水溶性树脂层及感光层，该层叠体中，在该感光性树脂组合物中掺合有特定的光产酸剂和特定的树脂。由此，记载为能够在有机半导体上形成良好的图案。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/175220号

专利文献2：日本特开2015-194674号公报

专利文献3：日本特开2015-087609号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

根据如上述的技术，通过将水溶性树脂层介于有机半导体层等半导体层与感光层之间，可实现确保有机半导体层等的保护性。本发明人等谋求进一步的改良，关于感光层及包含该感光层的层叠体，著眼于对感光层进行曝光显影时的制造质量的改善。具体而言，若基于图3来表示，则在该以往的例中，准备了在基板4上依次层叠有有机半导体层3、水溶性树脂层2、感光层11的层叠体(图3(a))。若隔着规定的掩模(未图示)对该感光层11进行曝光之后进行显影，则能够在感光层中形成所去除的部分(去除部)5(图3(b))。但是，已知使用以往的使用了酸反应性树脂的感光层11，有时在暴露的水溶性树脂层2的表面产生缺陷9。

因此，本发明的目的在于提供一种对层叠于水溶性树脂层的上侧的感光层进行曝光/显影时，能够抑制此时产生的缺陷或使其消失的感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。

用于解决技术课题的手段

为了解决上述问题，本发明人等对各种材料、层构成等进行研究并重复进行了改良试验。其结果，发现了通过调节形成感光层的感光性树脂组合物的含水量，能够极其有效地抑制在上述水溶性树脂层上产生的缺陷或使其消失。本发明是基于该见解而完成的。即，根据以下方案[1]、优选为[2]至[14]来解决了上述问题。