[发明专利]相位差控制装置

权利要求书

1.一种相位差控制装置，被利用于对试样进行分光测定的分光测定器中，所述相位差控制装置的特征在于，

该相位差控制装置具备：分割偏振器，其将来自光源的入射光分割成直线偏振的测定光和直线偏振的参照光；光弹调制器，也即PEM，其进行以与所述分光测定相对应的方式对所述测定光和参照光赋予相位差的相位调制动作；PEM驱动器，其向该PEM供给用于进行相位调制动作的调制电压；以及PEM控制电路，其输入所述参照光作为反馈信号，并且向所述PEM驱动器输出调制控制量信号，

所述相位差控制装置还具备CPU电路，该CPU电路监视所述分割偏振器中的光的波长，输入该波长的变化作为波长信号，

所述CPU电路将所述波长信号变换成前馈信号，该前馈信号被输出到所述PEM控制电路，

所述PEM控制电路进行基于所述反馈信号和前馈信号的运算处理，来向所述PEM驱动器输出调制控制量信号，

所述CPU电路通过以下方式来计算所述前馈信号：通过提高和降低PEM电压来获取圆二色性值即CD值的收敛点，将该收敛点设为圆二色性最大值即CD最大值，并将在获取该CD最大值时的所述PEM电压的值设为所述调制电压的电压最大值。

2.根据权利要求1所述的相位差控制装置，其特征在于，

所述CPU电路通过在该CPU电路内部预先制作出的输出指令表格来计算前馈信号。

3.根据权利要求1或2所述的相位差控制装置，其特征在于，

该相位差控制装置还具备温度补偿电路，所述温度补偿电路用于从PEM驱动器向PEM供给调制电压，所述调制电压用于即使PEM的温度变化也使对测定光和参照光赋予的相位差恒定，

所述温度补偿电路输入由用于检测PEM的温度的温度检测器检测出的检测值来进行温度补偿动作。

4.根据权利要求3所述的相位差控制装置，其特征在于，

所述PEM驱动器构成为在至少一部分包括所述温度补偿电路，该温度补偿电路构成为包括温度补偿型晶体振荡器。

5.一种相位差控制方法，用于在至少具备光源、分割偏振器、光弹调制器也即PEM、PEM驱动器以及PEM控制电路的分光测定器中控制所述PEM的相位差，所述相位差控制方法的特征在于，包括以下步骤：

从所述PEM驱动器向PEM供给用于进行相位调制动作的调制电压，利用所述分割偏振器将来自光源的入射光分割成直线偏振的测定光和直线偏振的参照光，利用所述PEM以与分光测定相对应的方式对所得到的测定光和参照光赋予相位差，将被赋予了所述相位差的参照光作为反馈信号输入到所述PEM控制电路，并且向所述PEM驱动器输出调制控制量信号，从而构成反馈控制环；以及

在所述分光测定器中构成用于监视所述分割偏振器中的光的波长并输入该波长的变化作为波长信号的CPU电路，利用该CPU电路将所述波长信号变换成前馈信号，将该前馈信号输出到所述PEM控制电路，

其中，所述PEM控制电路利用所述反馈信号和前馈信号，来向所述PEM驱动器输出调制控制量信号，

所述CPU电路通过以下方式来计算所述前馈信号：通过提高和降低PEM电压来获取圆二色性值即CD值的收敛点，将该收敛点设为圆二色性最大值即CD最大值，并将在获取该CD最大值时的所述PEM电压的值设为所述调制电压的电压最大值。