[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其使接触端子与设置于被检查体的电子器件电接触来检查该电子器件，所述检查装置特征在于，包括：

载置台，其在内部具有供光可透射的致冷剂流通的致冷剂流路，并且能够载置所述被检查体，该载置台的与所述被检查体的载置侧相反的一侧由光透射材料形成；

光照射机构，其被配置成面对所述载置台的与所述被检查体的载置侧相反的一侧的面，并具有面向所述被检查体的多个LED；以及

控制部，其控制用所述致冷剂进行的吸热和用来自所述LED的光进行的加热，以控制作为检查对象的所述电子器件的温度，

所述控制部构成为：

基于至少所测量出的作为所述检查对象的所述电子器件的温度，来控制来自所述LED的光输出，

并且基于所述LED的光输出来控制用所述致冷剂进行的吸热。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部构成为：

控制所述LED的输出以使作为所述检查对象的所述电子器件的温度成为一定的，

并且控制用所述致冷剂进行的吸热以使所述LED的输出成为一定的。

3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部构成为，基于所测量出的作为所述检查对象的所述电子器件的温度和所测量出的所述载置台的温度来控制所述LED的输出，以使作为所述检查对象的所述电子器件的温度成为一定的。

4.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部构成为，控制所述致冷剂的流量以控制用所述致冷剂进行的吸热，以使所述LED的输出成为一定的。

5.如权利要求3所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部构成为，控制所述致冷剂的流量以控制用所述致冷剂进行的吸热，以使所述LED的输出成为一定的。

6.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部构成为，通过基于所述LED的输出是否超过了规定的值切换所述致冷剂的供给的实施和停止，来控制用所述致冷剂进行的吸热。

7.如权利要求3所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部构成为，通过基于所述LED的输出是否超过了规定的值切换所述致冷剂的供给的实施和停止，来控制用所述致冷剂进行的吸热。

8.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部使所述规定的值具有迟滞。

9.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于：

所述控制部使所述规定的值具有迟滞。