[发明专利]训练用于低分辨率图像中的缺陷检测的神经网络

权利要求书

1.一种经配置以训练用于低分辨率图像中的缺陷检测的神经网络的系统，其包括：

检验工具，其包括高分辨率成像子系统及低分辨率成像子系统，其中所述高分辨率成像子系统及所述低分辨率成像子系统包括至少能量源及检测器，其中所述能量源经配置以产生经引导到样品的能量，且其中所述检测器经配置以检测来自所述样品的能量且响应于所述经检测能量而产生图像；

一或多个计算机子系统，其经配置用于获得由所述高分辨率成像子系统及所述低分辨率成像子系统产生的所述样品的所述图像；及

一或多个组件，其由所述一或多个计算机子系统执行，其中所述一或多个组件包括高分辨率神经网络及低分辨率神经网络；及

其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于：

产生缺陷图像的训练集，其中所述缺陷图像中的至少一者由所述高分辨率神经网络使用由所述高分辨率成像子系统产生的所述图像中的至少一者合成地产生；

使用缺陷图像的所述训练集作为输入训练所述低分辨率神经网络；及

通过将由所述低分辨率成像子系统针对另一样品产生的所述图像输入到所述经训练低分辨率神经网络中而检测所述另一样品上的缺陷。

2.根据权利要求1所述的系统，其中缺陷图像的所述训练集包括由所述低分辨率成像子系统的多于一个模式产生的所述样品的图像。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述低分辨率成像子系统的所述多于一个模式包括所述低分辨率成像子系统的全部所述模式。

4.根据权利要求2所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于选择用于检测所述另一样品上的所述缺陷的所述低分辨率成像子系统的所述多于一个模式中的一或多者，其中所述选择是基于使用由所述低分辨率成像子系统的所述多于一个模式产生的所述图像训练所述低分辨率神经网络的结果。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验工具经配置为不受绕射限制且具有约200nm到约2.0微米及以上的空间分辨率的系统。

6.根据权利要求1所述的系统，其中在所述另一样品上检测到的所述缺陷是所述另一样品的后端层的缺陷。

7.根据权利要求1所述的系统，其中在所述另一样品上检测到的所述缺陷是所述另一样品的重布层的缺陷。

8.根据权利要求1所述的系统，其中在所述另一样品上检测到的所述缺陷是所述另一样品的高噪声层的缺陷。

9.根据权利要求1所述的系统，其中在所述另一样品上检测到的所述缺陷是包括所述另一样品的金属线的层的缺陷。

10.根据权利要求1所述的系统，其中其上检测到所述缺陷的所述另一样品是切割后样品。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述高分辨率神经网络及所述低分辨率神经网络经配置用于单个图像缺陷检测。

12.根据权利要求1所述的系统，其中缺陷图像的所述训练集包括所述样品上的一或多个编程缺陷的一或多个图像，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于通过更改所述样品的设计而产生在所述设计中的所述一或多个编程缺陷，且其中经更改设计印刷于所述样品上以在所述样品上产生所述一或多个编程缺陷。

13.根据权利要求1所述的系统，其中缺陷的所述训练集包括一或多个合成缺陷的一或多个图像，且其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于：

通过更改所述样品的设计而产生在所述设计中的所述一或多个合成缺陷；

基于所述设计中的所述一或多个合成缺陷而产生所述一或多个合成缺陷的经模拟高分辨率图像；及

将所述经模拟高分辨率图像添加到所述训练集。