[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201980017535.0 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN111886485B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 滨崎良平 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L1/14;G01L9/12;H01L29/84 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,其中,
该压力传感器具有:
基体构件;
固定电极,其设于所述基体构件;
隔板,其与所述固定电极隔开间隔地相对设置并且具有挠性和导电性;
电介质体,其设于所述固定电极并且与所述隔板相对;以及
接触限制构件,其与所述隔板接触从而限制所述电介质体的一部分与所述隔板的接触,
所述隔板隔着对所述隔板的外周缘部分进行支承的支承构件设于所述基体构件,
所述接触限制构件作为从所述支承构件朝向所述电介质体的中央地向内侧突出的突出部设于所述支承构件,
所述突出部是一对,设置为在同所述隔板与所述电介质体的相对方向正交的方向上隔着所述电介质体而相对。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其中,
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是具有缩颈部的形状,该缩颈部夹着所述电介质体的与所述隔板的中央部分相对的中央部分。
3.根据权利要求1或2所述的压力传感器,其中,
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是具有从中心到外周部的直线距离不同的部分的形状。
4.根据权利要求1或2所述的压力传感器,其中,
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是如下形状,该形状具有由彼此相对的向外侧突出的两个圆弧和彼此相对的向内侧突出的两个圆弧构成的外形。
5.根据权利要求1或2所述的压力传感器,其中,
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是如下形状,该形状具有由彼此相对的平行的两个直线和彼此相对的向内侧突出的两个圆弧构成的外形。
6.根据权利要求1或2所述的压力传感器,其中,
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是大致十字形状。
7.根据权利要求1或2所述的压力传感器,其中,
作为所述接触限制构件,具有在同所述隔板与所述电介质体的相对方向正交的第1方向上隔着所述电介质体而彼此相对的一对第1接触限制构件。
8.根据权利要求7所述的压力传感器,其中,
作为所述接触限制构件,具有在同所述相对方向和所述第1方向正交的第2方向上隔着所述电介质体而彼此相对的一对第2接触限制构件。
9.根据权利要求1或2所述的压力传感器,其中,
所述电介质体是圆形形状、正方形形状、长方形形状中的任一种形状。
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