[发明专利]压力传感器

说明书

压力传感器具有：基体构件(12)；固定电极(14)，其设于基体构件(12)；隔板(16)，其与固定电极(14)隔开间隔地相对设置并且具有挠性和导电性；电介质体(20)，其设于固定电极(14)并且与隔板(16)相对；以及接触限制构件(18b)，其与隔板(16)接触从而限制电介质体(20)的一部分与隔板(16)的接触。

技术领域

本发明涉及一种用于测量气压等压力的压力传感器。

背景技术

一直以来，作为静电电容型压力传感器，例如像专利文献1所记载的那样公知有一种接触模式压力传感器。这样的接触模式压力传感器包括固定电极、与固定电极隔开间隔地配置并且承受压力而挠曲的隔膜(隔板)、以及设于固定电极并且与隔板相对的电介质膜(电介质体)。首先，在压力作用于隔板而使隔板挠曲时，固定电极和隔板之间的距离减小并且固定电极和隔板之间的静电电容增加。在隔板与电介质体接触之后也就是在接触模式中，电介质体与隔板的接触面积增加会使固定电极和隔板之间的静电电容增加。利用这样的压力－电容特性，接触模式压力传感器根据静电电容值来计算压力并将该计算结果作为压力测量值而输出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－152450号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1所记载的压力传感器的情况下，在隔板与电介质体接触之后，静电电容的相对于压力的变化而言的变化的线性度较低。因此，用于根据静电电容值来计算压力测量值的计算式会复杂化并且计算精度较低。其结果为，压力传感器的测量精度(压力的计算精度)较低。

因此，本发明的课题在于提供如下的压力传感器，即，固定电极和隔板之间的静电电容的相对于作用于隔板的压力的变化而言的变化能够获得更高的线性度，由此能够高精度地测量压力。

用于解决问题的方案

为了解决上述技术课题，根据本发明的第1技术方案，

提供一种压力传感器，其具有：

基体构件；

固定电极，其设于所述基体构件；

隔板，其与所述固定电极隔开间隔地相对设置并且具有挠性和导电性；电介质体，其设于所述固定电极并且与所述隔板相对；以及

接触限制构件，其与所述隔板接触从而限制所述电介质体的一部分与所述隔板的接触。

根据本发明的第2技术方案，提供第1技术方案的压力传感器，其中，

所述电介质体的能够与隔板接触的区域是具有缩颈部的形状，该缩颈部夹着所述电介质体的与所述隔板的中央部分相对的中央部分。

根据本发明的第3技术方案，提供第1或第2技术方案的压力传感器，其中，

所述电介质体的能够与隔板接触的区域是具有从中心到外周部的直线距离不同的部分的形状。

根据本发明的第4技术方案，提供第1～第3技术方案中的任一个技术方案的压力传感器，其中，

所述电介质体的能够与隔板接触的区域是如下形状，该形状具有由彼此相对的向外侧突出的两个圆弧和彼此相对的向内侧突出的两个圆弧构成的外形。

根据本发明的第5技术方案，提供第1～第3技术方案中的任一个技术方案的压力传感器，其中，