[发明专利]液处理装置和液处理方法

权利要求书

1.一种液处理装置，其特征在于，包括：

将从处理液供给源供给的用于处理基片的处理液释放到该基片的喷嘴；

将所述处理液供给源和所述喷嘴连接的主流路；

设置于所述主流路的过滤器；

从所述主流路分支的分支管路；

设置于所述分支管路的端部的泵；以及

控制部，其输出控制信号以进行第一步骤和接着的第二步骤，其中，所述第一步骤用所述泵进行吸液以使得从所述处理液供给源供给来的所述处理液流入所述分支管路，所述第二步骤从所述泵向所述分支管路释放比该分支管路的容量少的量的该处理液以从所述喷嘴释放所述处理液。

2.如权利要求1所述的液处理装置，其特征在于：

所述主流路包括：循环管路；从该循环管路的第一位置分支而连接到所述喷嘴的第一连接流路；和第二连接流路，其在所述循环管路中从在处理液的循环方向上与所述第一位置不同的第二位置分支而连接到所述处理液供给源，

所述过滤器设置于所述循环管路，

所述分支管路在该循环管路中从在所述循环方向上与第一位置、第二位置不同的第三位置分支。

3.如权利要求1所述的液处理装置，其特征在于：

所述主流路包括：循环管路；从该循环管路的第一位置分支而连接到所述喷嘴的第一连接流路；和第二连接流路，其在所述循环管路中从在处理液的循环方向上与所述第一位置不同的第二位置分支而连接到所述处理液供给源，

所述过滤器和所述泵分别设置于所述循环管路中被所述第一位置和所述第二位置分开的区域中。

4.如权利要求1所述的液处理装置，其特征在于：

在所述泵连接有与所述分支管路不同的能够释放所述处理液的排液管路，

所述控制部输出控制信号以进行从所述泵对所述排液管路释放处理液的第三步骤，

所述第一步骤中的所述泵的吸液量，是第二步骤和第三步骤中的来自所述泵的释放量的合计量以上的量。

5.如权利要求2所述的液处理装置，其特征在于：

所述控制部输出控制信号以进行第四步骤，所述第四步骤从所述泵释放处理液以经由所述循环管路向所述过滤器的一次侧供给所述处理液，

所述第一步骤中的所述泵的吸液量，是所述第二步骤和所述第四步骤中的来自所述泵的释放量的合计量以上的量。

6.如权利要求5所述的液处理装置，其特征在于：

所述控制部输出控制信号以进行所述第三步骤和第四步骤，

所述第一步骤中的所述泵的吸液量，与第二～第四步骤中的来自所述泵的释放量的合计量相同。

7.如权利要求1所述的液处理装置，其特征在于：

在所述分支管路设置有检测所述分支管路中的所述处理液的流量的第一流量检测部，

所述控制部基于由该第一流量检测部检测出的流量来判断是否有异常。

8.如权利要求7所述的液处理装置，其特征在于：

所述第一流量检测部设置于所述分支管路中比连接所述主流路的位置靠近所述泵的位置。

9.如权利要求1所述的液处理装置，其特征在于：

在所述主流路设置有检测所述分支管路中的所述处理液的流量的第二流量检测部，

所述控制部基于由该第一流量检测部和第二流量检测部分别检测出的流量来判断是否有异常。

10.如权利要求3所述的液处理装置，其特征在于：

从所述过滤器设置至所述第一位置为止的配管的容量，小于所述第一步骤中的所述泵的吸液量。

11.如权利要求3所述的液处理装置，其特征在于：

从所述第一位置设置至所述泵为止的配管的容量，小于所述泵能够补充的容量。