[发明专利]一种蒸镀掩模及其制造方法

说明书

本发明提供一种蒸镀掩模，其在树脂掩模(20)上设置有金属层(10)，其中，上述树脂掩模(20)具有为了形成蒸镀图案所必要的开口部(25)，树脂掩模(20)含有树脂材料，金属层(10)含有金属材料，将树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时，在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中，用树脂掩模(20)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值除以金属层(10)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55以上且1.45以下的范围内。

技术领域

本公开的实施方式涉及蒸镀掩模、带框架的蒸镀掩模、蒸镀掩模准备体、蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、有机EL显示器的制造方法、及图案的形成方法。

背景技术

使用了蒸镀掩模的蒸镀图案的形成通常可如下地进行：使设置有与待蒸镀制作的图案相对应的开口部的蒸镀掩模和蒸镀对象物密合，使从蒸镀源放出的蒸镀材料在开口部通过并附着于蒸镀对象物。

作为在上述蒸镀图案的形成中使用的蒸镀掩模，已知有例如：将具有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模和具有金属掩模开口部(有时也称为缝隙)的金属掩模层叠而成的蒸镀掩模(例如，专利文献1)等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5288072号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本公开的实施方式的主要课题在于提供能够形成准确度更高的蒸镀图案的包含树脂掩模的蒸镀掩模、将该蒸镀掩模固定于框架而成的带框架的蒸镀掩模，另外，提供用于制造该蒸镀掩模的蒸镀掩模准备体、蒸镀掩模的制造方法，另外，提供可以准确度良好地制造有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法、可以准确度良好地制造有机EL显示器的有机EL显示器的制造方法。

解决问题的方法

本公开的一个实施方式的蒸镀掩模是在树脂掩模上设置有金属层的蒸镀掩模，其中，上述树脂掩模具有为了形成蒸镀图案所必要的开口部，上述树脂掩模含有树脂材料，上述金属层含有金属材料，将上述树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时，在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中，用上述树脂掩模的线性膨胀曲线在温度25℃～上述上限温度的范围内的积分值除以上述金属层的线性膨胀曲线在温度25℃～上述上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55以上且1.45以下的范围内。

另外，上述树脂材料可以为聚酰亚胺树脂的固化物。

另外，上述金属材料可以为铁合金。

另外，本公开的一个实施方式的带框架的蒸镀掩模是在框架上固定蒸镀掩模而成的，其使用了上述的蒸镀掩模。

另外，本公开的一个实施方式的蒸镀掩模准备体是用于得到在树脂掩模上设置有金属层的蒸镀掩模的蒸镀掩模准备体，其中，在树脂板上设置有金属层，上述树脂板含有树脂材料，上述金属层含有金属材料，将上述树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时，在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中，用上述树脂板的线性膨胀曲线在温度25℃～上述上限温度的范围内的积分值除以上述金属层的线性膨胀曲线在温度25℃～上述上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55 以上且1.45以下的范围内。

另外，在上述的蒸镀掩模准备体中，上述树脂材料可以为聚酰亚胺树脂的固化物。

另外，在上述的蒸镀掩模准备体中，上述金属材料可以为铁合金。