[发明专利]碱溶性树脂、感光性树脂组合物、感光性片材及固化膜

权利要求书

1.(A)碱溶性树脂，其特征在于，具有通式(1)表示的结构，且满足以下的(I)和(II)，

(I)作为通式(1)的X¹，具有碳原子数为8～30的脂肪族链的2价有机基团以相对于X¹和X²的总量100摩尔％而言30～70摩尔％的量被含有，

(II)作为通式(1)的Y¹，具有二苯醚结构的有机基团以相对于Y¹和Y²的总量100摩尔％而言1～30摩尔％的量被含有，

[化学式1]

通式(1)中的X¹表示碳原子数为2～100个的2价有机基团，Y¹和Y²表示碳原子数为2～100个的2～6价有机基团，X²表示碳原子数为2～100个的4价有机基团，p和q表示0～4的范围的整数，n¹和n²表示5～100000的范围的整数。

2.根据权利要求1所述的(A)碱溶性树脂，其特征在于，还满足以下的(III)，

(III)通式(1)的n¹和n²满足n¹/n²＝10～20。

3.根据权利要求1或2所述的(A)碱溶性树脂，其特征在于，作为所述通式(1)中的Y¹或Y²，通式(2)表示的聚醚结构以相对于Y¹和Y²的总量100摩尔％而言1～20摩尔％的量被含有，

[化学式2]

通式(2)中，R¹～R⁴各自独立地表示碳原子数为2～10的亚烷基，a、b和c各自表示1≤a≤20、0≤b≤20、0≤c≤20的范围内的整数，重复单元的排列可以是嵌段方式，也可以是无规方式；另外，通式(2)中，＊表示化学键。

4.感光性树脂组合物，其含有权利要求1～3中任一项所述的(A)碱溶性树脂、(B)感光剂和(C)溶剂。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其特征在于，100质量份的所述(C)溶剂中，含有0.1～50质量份的沸点为150～250℃且熔点为-30℃以下、分子量为100以上的(D)化合物。

6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述(D)化合物是沸点为150～250℃且熔点为-45℃以下、分子量为100以上的(D-2)化合物。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述(A)碱溶性树脂包含具有聚苯并噁唑前体结构的聚羟基酰胺，于200℃的温度进行固化时所述聚羟基酰胺的闭环率为0～60％。

8.感光性片材，其是由权利要求5～7中任一项所述的感光性树脂组合物形成的。

9.根据权利要求8所述的感光性片材，其特征在于，所述(A)碱溶性树脂包含具有聚苯并噁唑前体结构的聚羟基酰胺，于200℃的温度进行固化时所述聚羟基酰胺的闭环率为0～60％。

10.固化膜，其是权利要求4～7中任一项所述的感光性树脂组合物、或者权利要求8或9所述的感光性片材固化而得到的。

11.根据权利要求10所述的固化膜，其中，固化膜中所述(D)化合物的含量为0.05～5000ppm。

12.层间绝缘膜或半导体保护膜，其配置有权利要求10或11所述的固化膜。