[发明专利]抽取板、抽取组及工件加工系统

权利要求书

1.一种抽取板，与工件加工系统一起使用，包括：

板，具有前表面及后表面，所述后表面适于附装到离子源腔室，所述板具有抽取开孔，所述抽取开孔具有宽度及高度；

阻挡器，靠近所述抽取板而设置，具有两个端部，其中所述两个端部在各自的附装点处被固持，所述附装点在所述后表面上设置在所述抽取开孔的在宽度方向上的两侧上；以及

阻挡器固持器，贴附到所述板的所述后表面并覆盖所述阻挡器的所述两个端部。

2.根据权利要求1所述的抽取板，其中每一所述附装点包括远离所述后表面而延伸且在所述宽度方向上延伸的两个导轨，所述两个导轨各自具有从中穿过的孔，且其中所述两个导轨中的每一所述孔与所述阻挡器固持器的相应侧中对应的孔对准，其中销穿过所述阻挡器固持器中的所述孔及所述两个导轨中相应的所述孔以将所述阻挡器固持器固持。

3.根据权利要求1所述的抽取板，其中所述阻挡器的所述两个端部中的每一者以两个叉股终止，所述两个叉股之间具有开口，且在靠近所述附装点处设置有突起部，使得所述突起部填充所述阻挡器的相应端部中的所述开口且起到将所述阻挡器对准到所述板的作用。

4.根据权利要求1所述的抽取板，还包括设置在所述阻挡器固持器与所述阻挡器之间的压缩装置，以将所述阻挡器推向所述板。

5.一种抽取组，用于附装到离子源腔室，包括：

抽取板，具有抽取开孔，具有背对所述离子源腔室的前表面，包括远离所述前表面延伸的两个侧壁，所述两个侧壁各自具有孔；

安装框架，具有隆起侧壁，所述隆起侧壁各自具有孔；以及

多个销，每一所述销穿过相应的侧壁中的所述孔及所述安装框架中相应的孔，以将所述抽取板贴附到所述安装框架。

6.根据权利要求5所述的抽取组，还包括设置在所述安装框架与所述抽取板之间的O形环，以在所述安装框架与所述抽取板之间形成热隔离。

7.根据权利要求5所述的抽取组，其中所述抽取板的所述两个侧壁各自包括对准突片，且所述安装框架的所述隆起侧壁各自包括对准特征，其中所述对准突片用于将所述抽取板对准到所述安装框架。

8.根据权利要求5所述的抽取组，还包括：

阻挡器，靠近所述抽取板而设置，具有两个端部，其中所述两个端部通过附装点被固持，所述附装点在所述抽取板的后表面上设置在所述抽取开孔的在宽度方向上的两侧上；以及

阻挡器固持器，附装到所述抽取板的所述后表面并覆盖所述阻挡器的所述两个端部。

9.根据权利要求8所述的抽取组，其中每一所述附装点包括远离所述后表面而延伸且在所述宽度方向上延伸的两个导轨，所述两个导轨各自具有从中穿过的孔，且其中所述两个导轨中的每一所述孔与所述阻挡器固持器的相应侧中对应的孔对准，其中销穿过所述阻挡器固持器中的所述孔及所述两个导轨中相应的所述孔以将所述阻挡器固持器固持。

10.根据权利要求8所述的抽取组，还包括设置在所述阻挡器固持器与所述阻挡器之间的压缩装置，以将所述阻挡器推向所述抽取板。

11.一种工件加工系统，包括：

离子源腔室，包括多个腔室壁及抽取板，所述抽取板具有抽取开孔；

其中所述抽取板具有背对所述离子源腔室的前表面及设置在所述离子源腔室中的后表面，且其中所述前表面不含任何附装组件，

其中所述抽取板包括远离所述前表面而延伸的两个侧壁，所述两个侧壁各自具有孔。

12.根据权利要求11所述的工件加工系统，还包括：

配合组件，具有隆起侧壁，所述隆起侧壁各自具有孔；以及

多个销，每一所述销穿过所述两个侧壁中的一者中的所述孔及所述隆起侧壁中相应的孔。