[发明专利]抽取板、抽取组及工件加工系统

说明书

本发明提供一种抽取板、抽取组及工件加工系统。所述抽取组，其包括抽取板、阻挡器及用于阻挡器的固持机构。所述抽取组包括抽取板，所述抽取板能够由涂布有陶瓷材料的钛构造而成。抽取板使用销附装到离子源。抽取板还包括位于其内表面中的隆起轮廓，所述隆起轮廓用于将阻挡器固定到抽取板的内表面。阻挡器的端部通过设置在抽取开孔的相对两侧上的两个固持器而固定。用于将抽取板附装到离子源的机构还改善抽取板的温度均匀性。

技术领域

本发明的实施例涉及用于晶片加工系统的抽取组，且更具体来说涉及与离子植入系统一起使用的包括阻挡器的抽取板、抽取组及工件加工系统。

背景技术

离子通常是以零入射角被植入工件中，其中零入射角表示与工件的表面垂直的植入。然而，在某些半导体制造工艺中，使离子以非零入射角射到工件上是有利的。通常，经由抽取开孔从离子源抽取离子。一种以非零角抽取离子的技术是在离子源内抽取开孔附近装设阻挡器。阻挡器修改离子源内的等离子鞘，使得离子是以非零入射角被抽取。

在某些实施例中，通过使用螺丝及垫圈将阻挡器在离子源内固持就位。举例来说，在抽取开孔的两侧上设置有孔。紧固件穿过所述孔并进入阻挡器的相应端部中的孔。通过使用扣环、垫圈或其他装置将紧固件固持就位。所述紧固件可为螺丝、螺栓或其他适合的装置。

在一些情形中，紧固件或钩子可受离子源内的等离子及离子影响。举例来说，来自这些组件的材料可被溅射且随后进入所抽取的离子束并朝向工件被加速。

因此，如果存在一种不会对离子束造成污染的用于将阻挡器固持就位的系统，则将为有益的。此外，如果所述系统展现出改善的热特性，则将为有利的。

发明内容

本发明公开一种抽取组，其包括抽取板、阻挡器及用于阻挡器的固持机构。所述抽取组包括抽取板，所述抽取板能够由涂布有陶瓷材料的钛构造而成。抽取板使用销附装到离子源。抽取板还包括位于其内表面中的隆起轮廓，所述隆起轮廓用于将阻挡器固定到抽取板的内表面。阻挡器的端部通过设置在抽取开孔的相对两侧上的两个固持器而固定。用于将抽取板附装到离子源的机构还改善抽取板的温度均匀性。

根据一个实施例，公开一种与工件加工系统一起使用的抽取板。所述抽取板包括：板，具有前表面及后表面，所述后表面适于附装到离子源腔室，所述板具有抽取开孔，所述抽取开孔具有宽度及高度；阻挡器，靠近所述抽取板而设置，具有两个端部，其中所述两个端部在各自的附装点处被固持就位，所述附装点在所述后表面上设置在所述抽取开孔的在宽度方向上的两侧上；以及阻挡器固持器，贴附到所述板的所述后表面并覆盖所述阻挡器的所述两个端部。在某些实施例中，每一所述附装点包括远离所述后表面而延伸且在所述宽度方向上延伸的两个导轨，所述两个导轨各自具有从中穿过的孔，且所述两个导轨中的每一所述孔与所述阻挡器固持器的相应侧中对应的孔对准，其中销穿过所述阻挡器固持器中的所述孔及所述两个导轨中相应的所述孔以将所述阻挡器固持器固持就位。在某些实施例中，所述阻挡器的所述两个端部中的每一者以两个叉股终止，所述两个叉股在其之间具有开口，且靠近所述附装点设置有突起部，使得所述突起部填充所述阻挡器的相应端部中的所述开口且起到将所述阻挡器对准到所述板的作用。在某些实施例中，所述阻挡器的所述两个端部中的每一者具有封闭式开孔，且靠近所述附装点设置有突起部，使得所述突起部填充所述阻挡器的相应端部中的所述封闭式开孔且起到将所述阻挡器对准到所述板的作用。在某些实施例中，在所述阻挡器固持器与所述阻挡器之间设置有压缩装置，以将所述阻挡器推向所述板。