[发明专利]夹紧装置

说明书

本发明涉及一种用于夹持至少一个物体的拾取装置，所述装置包括用于与该物体接触的夹持器(20)。夹持器包括：支撑件(24)，其包括板(42)，该板具有相对的第一表面和第二表面(60、62)，该第一表面和第二表面包括第一开口(84)和第二开口(82)，该第一开口从第一表面(60)仅穿过板厚度的一部分延伸到板，该第二开口从第二表面(60)仅穿过板厚度的一部分延伸到板，每个第一开口与第二开口的至少一个连通，具有伯努利效应的至少一个空气喷嘴(26)，其固定到支撑件；以及至少一个管(28)，其连接到喷嘴并设置在第一开口和第二开口中。

本专利申请要求法国专利申请FR 18/52728的优先权，其通过引用并入本文。

技术领域

本申请涉及一种用于操纵薄物体的拾取装置。

背景技术

在专利US 4969676中描述了一种实施伯努利原理的薄物体拾取装置。这种装置尤其可以用于操纵旨在用于制造光伏电池的硅晶片。

拾取装置包括至少一个空气喷嘴，该至少一个空气喷嘴能够在拾取装置与待操纵的薄物体之间形成气膜。空气流通过伯努利效应产生了低压区域，该低压区域导致将物体保持在拾取装置上，包括拾取装置的组件和施加在其上的薄物体能够移动。拾取装置包括多个喷嘴，以允许同时移动多个薄物体。

对于某些应用，拾取装置必须具有较小的尺寸，尤其是较小的厚度，以能够在有限的空间内移动要操纵的物体。例如，用于制造光伏电池的硅晶片的处理可以包括将晶片放置在包括堆叠的托盘的保持装置上，多个晶片能够设置在每个托盘上。然后，拾取装置必须能够与操纵的晶片一起穿透两个托盘之间，以将晶片设置在托盘之一上或拾取存在于托盘之一上的晶片。

发明内容

实施例的目的在于本身薄的薄物体拾取装置。

实施例的目的在于实现伯努利原理的薄物体拾取装置。

实施例的目的在于能够同时操纵至少两个薄物体的拾取装置。

实施例的目的在于制造简单的拾取装置。

实施例的目的在于具有低制造成本的拾取装置。

因此，实施例提供了用于拾取至少一个物体的装置，该装置包括旨在与所述物体接触的夹持器，该夹持器包括：

支撑件，其包括板，该板具有相对的第一表面和第二表面，该第一表面和第二表面包括：第一开口，其从第一表面仅穿过板厚度的一部分延伸到板中；以及第二开口，其从第二表面仅穿过板厚度的一部分延伸到板中，每个第一开口与第二开口的至少一个连通；

附接到支撑件的至少一个伯努利效应的空气喷嘴；以及

连接到喷嘴并且设置在第一开口和第二开口中的至少一个管。

根据一个实施例，夹持器包括至少两个喷嘴，以及设置在第一开口和第二开口中的至少两个管，每个管连接到喷嘴中的一个。

根据一个实施例，拾取装置包括第三开口，该第三开口从第一表面完全穿过板到达第二表面，并且在板中限定了第一臂和第二臂，至少一个或所述至少两个喷嘴附接到第一臂，并且所述至少两个喷嘴中的另一个附接到第二臂。

根据一个实施例，支撑件包括连接到板并且比板厚的基座。

根据一个实施例，对于每个管，夹持器包括附接到基座的端件。

根据一个实施例，拾取装置包括在与基座相对的一侧上连接两个臂的杆。

根据一个实施例，板的厚度为5mm至10mm。

根据一个实施例，支撑件是一体式的。

根据一个实施例，该目的是旨在制造光伏电池的半导体衬底。

附图说明