[发明专利]接触光子集成电路的光电电路板在审
申请号: | 201980022556.1 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN111919124A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | P.许布纳;S.里克特 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | G01R1/07 | 分类号: | G01R1/07 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接触 光子 集成电路 光电 电路板 | ||
1.一种系统(90),包含:
-光电电路板(300),其配置成用于接触光子集成电路(901),
-光学测试装置(801),其具有光源(802)和扫描装置(803),其中该光学测试装置(801)配置成驱动该光源(802)和该扫描装置(803),以发射光束(871、811A)到该光电电路板(300),
其中,该光电电路板(300)包含:
-至少一个导电体线路(381、385、386、387),其延伸于该光电电路板(300)的前侧(398)与该光电电路板(300)的后侧(399)之间,该光电电路板(300)配置成接触该光子集成电路(901)的电接口(972、931),该电接口(972、931)定位为邻近该后侧(399),以及
-至少一个光束路径(371),其延伸于该光电电路板(300)的前侧(398)与该光电电路板(300)的后侧(399)之间,该光电电路板(300)配置成接触该光子集成电路(901)的光学接口(971、921、922),该光学接口(971、921、922)定位为邻近该后侧(399)。
2.如权利要求1所述的系统(90),
其中该光学测试装置(801)配置成驱动该扫描装置(803),以相对于该光电电路板(300)的前侧(398)上的多个光学耦合点(370)定位该光束(871)。
3.如权利要求1或2所述的系统(90),
其中该光学测试装置(801)配置成驱动该扫描装置(803),以将该光束(871)定位于该光电电路板(300)的前侧(398)上的光学耦合点(370)内。
4.如权利要求3所述的系统(90),
其中该光学测试装置(801)配置成驱动该扫描装置(803),以使用搜寻图案将该光束(871)定位于该光学耦合点(370)内。
5.如前述权利要求中任一项所述的系统(90),
其中该光电电路板(300)的至少一个光束路径(371)的孔径(370A)的尺寸大于该光束(871)的横截面(871A)。
6.如前述权利要求中任一项所述的系统(90),其中该扫描装置(803)更包含:
-一个或多个可移动扫描仪和/或空间光调制器。
7.如前述权利要求中任一项所述的系统(90),其中,该光电电路板(300)更包含:
-透镜(321),和/或
-偏转元件,
其中,该透镜(321)和/或该偏转元件设置于该至少一个光束路径(371)中。
8.如权利要求7所述的系统(90),
其中,该光电电路板(300)具有层结构(330),
其中,该透镜(321)和/或该偏转元件嵌入该层结构(330)中。
9.如权利要求7或8所述的系统(90),
其中,该光电电路板(300)具有层结构(330),
其中,该透镜(321)和/或该偏转元件安装于该层结构(330)的外表面上,并延伸离开该层结构(330)。
10.如前述权利要求中任一项所述的系统(90),
其中,该光电电路板(300)具有层结构(330),该层结构具有至少一个金属层(331、332)且具有至少一个光学透明层(335),
其中,该至少一个光学透明层(335)形成设置于该至少一个光束路径(371)中的波导(925)。
11.如前述权利要求中任一项所述的系统(90),
其中,该光电电路板(300)具有层结构(330),该层结构具有至少一个金属层(331、332)且具有至少一个光学透明层(335),
其中,该光电电路板(300)更包含:
-该至少一个金属层(331、332)的切口,其中该切口设置于该至少一个光束路径(371)中。
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