[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

选自由下述式(B1)表示的热产碱剂及式(B2)表示的热产碱剂组成的组中的至少一种热产碱剂；

选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体；及

感光剂，

所述聚合物前体及所述感光剂中所含有的酸基与酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下；

式(B1)及(B2)中，R¹、R²及R³分别独立地为不具有叔胺结构的有机基团、卤素原子或氢原子，其中，R¹及R²不同时为氢原子，并且，R¹、R²及R³不具有羧基。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

所述热产碱剂的碱产生温度为120℃以上且200℃以下。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，

所述热产碱剂的pKa大于7。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述聚合物前体包含聚酰亚胺前体。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中，

所述聚酰亚胺前体由下述式(1)表示，

式(1)中，A¹及A²分别独立地表示氧原子或NH，R¹¹¹表示2价有机基团，R¹¹⁵表示4价有机基团，R¹¹³及R¹¹⁴分别独立地表示氢原子或1价有机基团。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

在365nm的波长下的所述热产碱剂的摩尔吸光系数为100l/(mol·cm)以下。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述热产碱剂含有通过加热而产生共轭酸的pKa为10以上的碱的热产碱剂。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述感光剂含有光聚合引发剂。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物，其用于使用了含有90质量％以上的有机溶剂的显影液的显影中。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物，其用于再配线层用层间绝缘膜的形成。

11.一种固化膜，其是将权利要求1至10中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成。

12.根据权利要求11所述的固化膜，其膜厚为1μm～30μm。

13.一种层叠体，其具有2层以上的权利要求11或12所述的固化膜。

14.一种层叠体，其具有3层～7层以上的权利要求11或12所述的固化膜。

15.根据权利要求13或14所述的层叠体，其中，

在所述固化膜之间具有金属层。

16.一种固化膜的制造方法，其包括：

将权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂组合物应用于基板来形成膜的膜形成工序。

17.根据权利要求16所述的固化膜的制造方法，其具有将所述膜进行曝光的曝光工序以及将所述膜进行显影的显影工序。