[发明专利]传感器、检测方法及传感器制造方法

权利要求书

1.一种传感器，其具备：

主体部，其为平板状，且第1方向上的第1端被支撑，并且具有在厚度方向上的两端面中的至少一面开口的收容空间；

体积变化体，其体积根据对象的量而发生变化，并且以至少一部分收容于所述收容空间的方式被所述主体部所支撑；以及

检测部，与所述主体部中的所述第1方向上的第2端连接，且检测伴随所述体积变化体的体积变化而产生的应力。

2.根据权利要求1所述的传感器，所述收容空间在所述厚度方向上的两端面开口。

3.根据权利要求1或2所述的传感器，所述收容空间包含在与所述第1方向正交的第2方向上伸长的狭缝状的孔。

4.根据权利要求3所述的传感器，

所述收容空间包含多个所述孔，

所述多个孔沿着所述第1方向排列。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器，

所述检测部具备：

延伸部，从所述第2端伸长至在与所述第1方向正交的第2方向上的位置与连接于所述第2端的位置不同的位置，

第1被支撑部，从所述延伸部的前端部伸长且前端被支撑，

并且，所述检测部在所述第1被支撑部检测所述应力。

6.根据权利要求5所述的传感器，所述第1被支撑部的宽度比所述延伸部的宽度窄。

7.根据权利要求5或6所述的传感器，

所述检测部具备：

第2被支撑部，从所述延伸部的前端部伸长且前端被支撑；

压敏电阻元件，位于所述第1被支撑部；

第1配线，将所述压敏电阻元件与所述第1被支撑部的前端进行连结；以及

第2配线，将所述压敏电阻元件与所述第2被支撑部的前端穿过所述延伸部而进行连结。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器，所述检测部具备第1被支撑部，并且在所述第1被支撑部检测所述应力，所述第1被支撑部从所述第2端向所述第1方向伸长且前端被支撑。

9.根据权利要求8所述的传感器，所述第1被支撑部的宽度比所述主体部的与所述第1方向正交的第2方向上的长度窄。

10.根据权利要求8或9所述的传感器，

所述检测部具备：

第2被支撑部，从所述第2端向所述第1方向伸长且前端被支撑；

压敏电阻元件，位于所述第1被支撑部；

第1配线，将所述压敏电阻元件与所述第1被支撑部的前端进行连结；以及

第2配线，将所述压敏电阻元件与所述第2被支撑部的前端穿过所述主体部而进行连结。

11.根据权利要求5～10中任一项所述的传感器，

所述第1被支撑部中的在所述第1被支撑部伸长的方向即延伸方向上的中央部的宽度比所述第1被支撑部中的在所述延伸方向上的两端部的宽度窄，

所述检测部在所述第1被支撑部的所述中央部检测所述应力。

12.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器，

所述检测部具备被支撑部，并且在所述前端检测所述应力，所述被支撑部从所述第2端向所述第1方向伸长且前端被支撑。

13.根据权利要求12所述的传感器，

所述被支撑部的宽度比所述主体部的与所述第1方向正交的第2方向上的长度窄。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的传感器，所述体积变化体由弹性模量比所述主体部低的材料形成。

15.根据权利要求14所述的传感器，所述主体部的弹性模量为所述体积变化体的弹性模量的2倍以上。