[发明专利]传感器、检测方法及传感器制造方法

说明书

传感器1具备：主体部132，所述主体部132为平板状，且第1方向上的第1端1321被支撑，并且具有在厚度方向上的两端面中的至少一面开口的收容空间；体积变化体14，所述体积变化体14的体积根据对象的量而发生变化，并且以至少一部分收容于收容空间的方式被主体部132支撑；以及检测部133，所述检测部133与主体部132中的第1方向上的第2端1322连接，且检测伴随体积变化体14的体积变化而产生的应力。

技术领域

本发明涉及传感器、检测方法以及传感器制造方法。

背景技术

已知一种传感器，其具备体积根据对象(例如，构成气体或液体的分子等)的量而发生变化的体积变化体，并且检测伴随体积变化体的体积变化而产生的应力。例如，专利文献1所记载的传感器具备主体部、体积变化体以及检测部。主体部为平板状。体积变化体通过容纳对象从而体积发生变化，并且被覆主体部的厚度方向上的两端面。检测部从主体部的端伸长，并且前端被支撑。检测部具备压敏电阻元件，并且检测伴随体积变化体的体积变化而产生的应力。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2013/157581号

发明内容

发明所要解决的课题

可是，在上述传感器中，由于体积变化体所容纳的对象的量的不同等，有时在主体部的厚度方向上产生应力。在该情况下，有时主体部会弯曲。其结果是存在不能将体积变化体的体积变化以高精度反映至检测部所产生的应力的担忧。换句话说，在上述传感器中，存在不能以高精度对对象进行检测的担忧。

本发明的目的之一在于以高精度对对象进行检测。

用于解决课题的方法

在一方面，传感器具备：

主体部，其为平板状，且第1方向上的第1端被支撑，并且具有在厚度方向上的两端面中的至少一面开口的收容空间；

体积变化体，其体积根据对象的量而发生变化，并且以至少一部分收容于上述收容空间的方式被上述主体部支撑；以及

检测部，与上述主体部中的上述第1方向上的第2端连接，且检测伴随上述体积变化体的体积变化而产生的应力。

在另一方面，检测方法包括：

使体积变化体的体积根据对象的量而发生变化，由检测部检测伴随上述体积变化体的体积变化而产生的应力，

所述体积变化体以至少一部分收容于主体部的收容空间的方式被上述主体部支撑，

所述主体部为平板状，且第1方向上的第1端被支撑，并且具有在厚度方向上的两端面中的至少一面开口的所述收容空间，

所述检测部与上述主体部中的上述第1方向上的第2端连接。

在另一方面，传感器制造方法包括：

在第1方向上的第1端被支撑的平板状的第1构件中形成在厚度方向上的两端面中的至少一面开口的收容空间，并且，在与上述第1构件中的上述第1方向上的第2端连接的第2构件上设置检测应力的元件，

将体积根据对象的量而发生变化的体积变化体的至少一部分以被上述第1构件支撑的方式收容于上述收容空间。

发明的效果

能够以高精度对对象进行检测。

附图说明

图1为第1实施方式的传感器的右前上方立体图。

图2为第1实施方式的传感器被分解的状态下的传感器的右前上方立体图。