[发明专利]具有长运动能力的精确动态调平机构

权利要求书

1.一种提升组件，包括：

底部托架；

基座组件支架，所述基座组件支架被配置为支撑基座组件，所述基座组件包括杆和基座；以及

三个或更多个伺服电动机组件，所述伺服电动机组件每一个经由枢轴关节附接到所述底部托架并通过三个或更多个轴承组件附接到所述基座组件支架，每个轴承组件包括：

导向配接器，所述导向配接器连接到导向致动器和所述提升组件的所述基座组件支架；以及

螺栓和弹簧，所述螺栓和所述弹簧插入穿过所述导向配接器中的凹槽，以将轴承连接到所述基座组件支架，所述轴承具有内座圈和外座圈，所述内座圈抵靠所述基座组件支架，并且所述外座圈抵靠所述导向配接器。

2.如权利要求1所述的组件，其中轴向预装载所述螺栓和弹簧。

3.如权利要求2所述的组件，其中所述螺栓和弹簧轴向预装载约3磅力(lbf)至约200磅力。

4.如权利要求1、2或3所述的组件，其中所述提升组件被配置为以3个自由度来重复移动而位置分辨率小于0.001英寸。

5.如权利要求1、2、3或4所述的组件，其中每个枢轴关节具有一个旋转自由度。

6.如权利要求1、2、3、4或5所述的组件，其中所述轴承是球形推力轴承。

7.如权利要求1、2、3、4、5或6所述的组件，其中所述轴承是角接触球形轴承。

8.如权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的组件，其中抵靠所述基座组件支架的所述内座圈和抵靠所述导向配接器的所述外座圈在所述内座圈与外座圈之间提供标称间隙。

9.如权利要求1、2、3、4、5、6、7或8所述的组件，其中所述内座圈和所述外座圈被配置为彼此滑动而不径向运动。

10.一种球形推力轴承组件，包括：

导向配接器，所述导向配接器连接到导向致动器和提升组件的基座组件支架，所述提升组件包括：

底部托架；

基座组件支架，所述基座组件支架被配置为支撑基座组件，所述基座组件包括杆和基座；以及

三个或更多个伺服电动机组件，每个伺服电动机组件经由枢轴关节附接到所述底部托架并通过轴承组件附接到所述基座组件支架；以及

螺栓和弹簧，所述螺栓和所述弹簧插入穿过所述导向配接器中的凹槽，以将轴承连接到所述基座组件支架，所述轴承具有内座圈和外座圈，所述内座圈抵靠所述基座组件支架，并且所述外座圈抵靠所述导向配接器。

11.如权利要求10所述的组件，其中所述螺栓和弹簧轴向预装载。

12.如权利要求10或11所述的组件，其中所述提升组件被配置为以3个自由度来重复移动而位置分辨率小于0.001英寸。

13.如权利要求10、11或12所述的组件，其中每个枢轴关节具有一个旋转自由度。

14.如权利要求10、11、12或13所述的组件，其中抵靠所述基座组件支架的所述内座圈和抵靠所述导向配接器的所述外座圈在所述内座圈与外座圈之间提供标称间隙。

15.一种腔室，包括：

腔室盖；

多个腔室壁；

腔室底部；

处理区域，所述处理区域由所述腔室盖、所述多个腔室壁和所述腔室底部来限定；以及

提升组件，所述提升组件包括：

底部托架；

基座组件支架，所述基座组件支架被配置为支撑基座组件，所述基座组件包括杆和基座，所述杆定位穿过所述腔室底部和所述底部托架的开口，并且所述基座设置在所述处理区域中；以及

三个或更多个伺服电动机组件，所述伺服电动机组件每一个经由枢轴关节附接到所述底部托架并通过三个或更多个轴承组件附接到所述基座组件支架，每个轴承组件包括：

导向配接器，所述导向配接器连接到导向致动器和所述提升组件的所述基座组件支架；以及

螺栓和弹簧，所述螺栓和所述弹簧插入穿过所述导向配接器中的凹槽，以将轴承连接到所述基座组件支架，所述轴承具有内座圈和外座圈，所述内座圈抵靠所述基座组件支架，并且所述外座圈抵靠所述导向配接器。