[发明专利]包括主动的再调整的回归干涉仪

权利要求书

1.干涉仪布置结构(1)，具有：

-用于可用光的输入端(3)，

-分束器(8)，

-用于建立两个干涉仪臂(13、14)的两个回归反射器(15、16)，

-驱动装置(24)，所述驱动装置用于使所述回归反射器(15、16)中的至少一个回归反射器运动，以便改变干涉仪臂(13、14)之间的光学的光程差，

-用于相干的参考光的参考光源(5)，

-用于可用光的输出端(21)，

-以及参考光探测器(19)，

其特征在于，

参考光探测器(19)具有至少三个探测器面(19a-19d)，其中，第一对探测器面(19a、19b)的探测器面沿第一方向(ER)排列，并且第二对探测器面(19a、19c)的探测器面沿第二方向(ZR)排列，并且第一方向(ER)、第二方向(ZR)和参考光的在参考光探测器(19)上的中间的传播方向线性独立，并且干涉仪布置结构(1)此外具有

-用于参考光的会聚元件(18)，所述会聚元件设置在分束器(8)和参考光探测器(19)之间，以用于对来自分束器(8)的参考光进行聚焦，

-至少两个促动器(9、10)，以用于在至少两个自由度方面改变两个由干涉仪臂(13、14)往回反射的并且在分束器(8)上再次叠加的参考光子光束(11、12)之间的横向的切变，

-以及调节电子装置(38)，以用于依赖于在参考光探测器(19)的探测器面(19a-19d)上的信号(Sa-Sc)操控促动器(9、10)。

2.按照权利要求1所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，第一方向(ER)、第二方向(ZR)和参考光的在参考光探测器(19)上的中间的传播方向彼此正交。

3.按照权利要求1所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，用于相干的参考光的参考光源(5)是参考激光器，用于参考光的会聚元件(18)是聚光透镜，并且所述至少两个促动器(9、10)设置在分束器(8)上或者设置在所述回归反射器(15、16)中的至少一个回归反射器上。

4.按照权利要求1所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，干涉仪布置结构(1)设计成，使得从参考光源(5)到达分束器(8)上的参考光在分束器(8)上具有最小展开MSP，

并且MSP≥2mrad。

5.按照权利要求1所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，参考光探测器(19)具有象限二极管。

6.按照权利要求1所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，借助促动器(9、10)，分束器(8)能够围绕两个线性独立的轴线(UA1、UA2)倾斜。

7.按照权利要求6所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，所述两个线性独立的轴线(UA1、UA2)是相对彼此正交并且与分束器(8)的法线正交的轴线(UA1、UA2)。

8.按照权利要求1所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，借助促动器(9、10)，所述回归反射器(15、16)之一能够沿两个线性独立的方向(R1、R2)移动。

9.按照权利要求8所述的干涉仪布置结构(1)，其特征在于，所述两个线性独立的方向(R1、R2)是相对彼此正交并且与光学轴线(2a、2b)正交的方向(R1、R2)。