[发明专利]包括主动的再调整的回归干涉仪

说明书

本发明涉及一种干涉仪布置结构(1)，具有：用于可用光(3)的输入端；分束器(8)；用于建立两个干涉仪臂(13、14)的两个回归反射器(15、16)；驱动装置(24)，其用于使所述回归反射器(15、16)中的至少一个回归反射器运动，以便改变干涉仪臂(13、14)之间的光学的光程差；用于相干的参考光的参考光源(5)；用于可用光(21)的输出端；以及参考光探测器(19)，其特征在于，参考光探测器(19)具有至少三个探测器面(19a‑19d)，其中第一对探测器面(19a、19b)的探测器面沿第一方向(ER)排列，并且第二对探测器面(19a、19c)的探测器面沿第二方向(ZR)排列，并且第一方向(ER)、第二方向(ZR)和参考光(17)在参考光探测器(19)上的中间的传播方向线性独立，并且干涉仪布置结构(1)此外具有：‑用于参考光(17)的会聚元件(18)，所述会聚元件设置在分束器(8)和参考光探测器(19)之间，以用于对来自分束器(8)的参考光(17)聚焦；‑至少两个促动器(9、10)，以用于在至少两个自由度方面改变两个由干涉仪臂(13、14)往回反射的并且在分束器(8)上再次叠加的参考光子光束(11、12)之间的横向的切变；‑以及调节电子装置(38)，以用于依赖于在参考光探测器(19)的探测器面(19a‑19d)上的信号(Sa‑Sc)操控促动器(9、10)。本发明提供一种基于回归反射器的干涉仪布置结构，利用其可以保证较高的可评估的并且较稳定的可用光强度。

技术领域

本发明涉及一种干涉仪布置结构，其具有

-用于可用光的输入端，

-分束器，

-用于建立两个干涉仪臂的两个回归反射器，

-用于使所述回归反射器中的至少一个回归反射器运动的驱动装置，以便改变干涉仪臂之间的光学的光程差，

-用于相干的参考光的参考光源、尤其是参考激光器，

-用于可用光的输出端，

-以及参考光探测器。

背景技术

这样的干涉仪布置结构由DE 10 2014 226 487 A1已知。

同类的干涉仪布置结构可以尤其是在FTIR(＝傅里叶变换红外光谱仪Fourier-Transformations-lnfrarot)光谱分析中使用。在这里作为可用光将宽带的IR(＝红外)光在干涉仪中以两个子光束分开到两个干涉仪臂上并且外加子光束之间的光程差，并且随后读取可用光探测器，叠加的子光束在与要研究的样品的相互作用之后入射到所述可用光探测器上。可用光探测器的读取对于不同的光程差重复。在子光束的叠加中出现干涉，所述干涉依赖于光程差和IR光的频率导致可用光探测器的照度的降低或提高。可用光探测器的依赖于光程差的强度数据经过傅立叶变换，由此获得要研究的样品的光谱。

对于该测量方法重要的是，可以准确地预定或一起跟踪子光束的光程差。为此已知，除了用于样品的本来的测量的宽带的IR光之外，附加地使用参考激光器，所述参考激光器的窄带的光同样经过干涉仪，并且由所述光在参考光探测器上的相长干涉和相消干涉正确确定干涉仪臂的光程差。

所述子光束通常利用分束器产生，在干涉仪臂中的镜上反射并且在分束器中再次叠加。

由US 5,883,712 A已知包括在两个正交的干涉仪臂中的平面镜的干涉仪构造，其中，平面镜之一为了改变光程差沿光束方向可移动。当平面镜彼此不精确正交地定向时，子光束获得角度误差(也就是说子光束相对彼此倾斜)，并且子光束不可以完全干涉，这会导致强度损失或甚至完全不可用的测量结果。镜的相对的倾斜会例如由于温度波动或由于在可运动的镜的支承部中的不精确性出现。