[发明专利]电子装置的制造方法有效
申请号: | 201980026275.3 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN111989769B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 风间达也;川中子知久;西崎贵洋 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社;千住金属工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60;H01L23/29;H01L23/31;C08G59/62;C08K3/013;C08K5/54;C08L63/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;吕秀平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 装置 制造 方法 | ||
1.一种电子装置的制造方法,该电子装置具备在表面具有金属露出部的基材以及设置于所述基材上的电子部件,该制造方法的特征在于,包括:
助焊剂处理工序,其使所述金属露出部与助焊剂接触而对所述金属露出部进行助焊剂处理;和
导入工序,其以与经所述助焊剂处理的所述金属露出部的表面接触的方式导入树脂组合物,
所述助焊剂包含松香、活性剂和溶剂,
所述松香的含量相对于所述助焊剂100质量份,为1质量份以上且18质量份以下,
在所述助焊剂中,由下述步骤测定的加热处理前后的所述助焊剂的质量变化率为21质量%以下,
步骤:
在氮气氛下,利用以10℃/min的升温速度从温度25℃升温至250℃的加热条件,对所述助焊剂进行加热处理时,使用热重量测定装置来测定加热处理前的所述助焊剂的质量M1和加热处理后的所述助焊剂的质量M2,然后,使用所获得的M1、M2,基于式:(M2/M1)×100算出加热处理前后的所述助焊剂的质量变化率,
所述树脂组合物含有环氧树脂和酚醛树脂固化剂,
在所述树脂组合物中,将由所述环氧树脂和所述酚醛树脂固化剂所构成的树脂组的基于汉森法的平均溶解度参数设为SP1,将由所述环氧树脂和所述酚醛树脂固化剂所构成的树脂组的数均分子量设为Mn1时,SP1与Mn1满足Mn1≤210×SP1-4095。
2.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
在所述树脂组合物中,SP1满足20.8[cal/cm3]0.5以上且30.0[cal/cm3]0.5以下。
3.根据权利要求1或2所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
在所述树脂组合物中,Mn1满足250以上且550以下。
4.根据权利要求1或2所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
在所述树脂组合物中,SP1与Mn1满足210×SP1-5000≤Mn1。
5.根据权利要求1或2所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
在所述树脂组合物中,所述环氧树脂的含量相对于所述树脂组合物的总固体成分100质量份,为2质量份以上且20质量份以下。
6.根据权利要求1或2所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
在所述树脂组合物中,所述酚醛树脂固化剂的含量相对于所述树脂组合物的总固体成分100质量份,为2质量份以上且20质量份以下。
7.根据权利要求1或2所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
所述环氧树脂包含选自联苯型环氧树脂、多官能环氧树脂、酚芳烷基型环氧树脂、双酚型环氧树脂中的1种或2种以上。
8.根据权利要求1或2所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
所述树脂组合物还含有填充材料。
9.根据权利要求8所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
在所述树脂组合物中,所述填充材料的体积基准粒度分布的累积频率成为50%的粒径D50为0.1μm以上且50μm以下。
10.根据权利要求8所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
在所述树脂组合物中,所述填充材料的含量相对于所述树脂组合物的总固体成分100质量份,为70质量份以上且95质量份以下。
11.根据权利要求1或2所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
所述树脂组合物还含有偶联剂。
12.根据权利要求11所述的电子装置的制造方法,其特征在于:
所述偶联剂包含氨基硅烷。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造