[发明专利]树脂组合物、层叠体、带树脂组合物层的半导体晶圆、基板和半导体装置

权利要求书

1.一种树脂组合物，其含有：

具有酚性羟基的化合物(A)、

金属离子捕捉剂(B)、和

自由基聚合性化合物(C)，

所述金属离子捕捉剂(B)含有选自由胺类、胺衍生物、醚衍生物和酮衍生物组成的组中的至少1种，

所述树脂组合物中的所述具有酚性羟基的化合物(A)的含量相对于所述树脂组合物中的所述自由基聚合性化合物(C)的总计量100质量份为5质量份以上且50质量份以下，

所述树脂组合物中的所述金属离子捕捉剂(B)的含量相对于所述树脂组合物中的所述自由基聚合性化合物(C)的总计量100质量份为10质量份以上且50质量份以下。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述具有酚性羟基的化合物(A)的分子量为200以上、且熔点为300℃以下。

3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述具有酚性羟基的化合物(A)的5％质量减少温度为250℃以上。

4.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述金属离子捕捉剂(B)含有选自氮和氧中的至少1种元素作为配位原子。

5.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述金属离子捕捉剂(B)含有选自由三嗪衍生物、联吡啶衍生物和二酮衍生物组成的组中的至少1种。

6.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述金属离子捕捉剂(B)含有1,3-二酮。

7.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述金属离子捕捉剂(B)含有选自由2,4-二氨基-6-甲基-1,3,5-三嗪、2,2’-联吡啶、1,3-二苯基-1,3-丙二酮、1-(2-均三甲苯)-1,3-丁二酮、1,3-双(4-甲氧基苯基)-1,3-丙二酮、1-(4-叔丁基苯基)-3-(4-甲氧基苯基)-1,3-丙二酮、和(E,E)-1,7-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮组成的组中的至少1种。

8.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述金属离子捕捉剂(B)含有选自由1-(4-叔丁基苯基)-3-(4-甲氧基苯基)-1,3-丙二酮、和(E,E)-1,7-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮组成的组中的至少1种。

9.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述自由基聚合性化合物(C)含有选自由(甲基)丙烯酸酯化合物、马来酰亚胺化合物、和丙烯基化合物组成的组中的至少1种。

10.根据权利要求9所述的树脂组合物，其中，所述自由基聚合性化合物(C)含有选自由2,2’-双{4-(4-马来酰亚胺苯氧基)苯基}丙烷、1,2-双(马来酰亚胺)乙烷、1,4-双(马来酰亚胺)丁烷、1,6-双(马来酰亚胺)己烷、N,N’-1,3-亚苯基双马来酰亚胺、N,N’-1,4-亚苯基双马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、下述式(1)所示的马来酰亚胺化合物、下述式(2)所示的马来酰亚胺化合物和下述式(3)所示的马来酰亚胺化合物组成的组中的至少1种，

式(1)中，R¹各自独立地表示氢原子或甲基，n¹表示1以上的整数，

式(2)中，n²的平均值为1以上且30以下，

式(3)中，R²各自独立地表示氢原子、甲基或乙基，R³各自独立地表示氢原子或甲基。

11.根据权利要求10所述的树脂组合物，其中，所述自由基聚合性化合物(C)含有选自由2,2’-双{4-(4-马来酰亚胺苯氧基)苯基}丙烷、所述式(1)所示的马来酰亚胺化合物、所述式(2)所示的马来酰亚胺化合物和所述式(3)所示的马来酰亚胺化合物组成的组中的至少1种马来酰亚胺化合物。