[发明专利]用于检测陈化处理的终点的方法和设备

权利要求书

1.一种用于检测陈化处理的终点的设备，所述设备包括：

处理腔室；

一组传感器，耦接至所述处理腔室；

至少一个存储器，经配置以存储：

陈化进度数据，指示用于第一多个基板中的每一基板的至少一个陈化处理的进度；和

历史参数值，当在所述陈化处理期间处理所述第一多个基板中的每一基板时由从所述一组传感器中选出的多个传感器测量；和

控制器，经配置以：

相对于所述第一多个基板中的特定基板的多个历史参数值，归一化所述第一多个基板中的每一基板的所述历史参数值；

通过将一系数集应用于所述第一多个基板中的每一基板的所述归一化历史参数值，生成多变量分析(MVA)模型；

通过利用所述第一多个基板中的每一基板的所述归一化历史参数值对逻辑方程的输出值执行回归操作来决定所述系数集，其中所述逻辑方程的输入为所述MVA模型的输出；

当处理第二多个基板时，从所述多个传感器接收多个实质实时参数值；和

使用具有所述多个实质实时参数值的所述MVA模型，决定所述陈化处理的终点。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述逻辑方程为：

其中y_i为所述MVA模型针对第i个基板的输出，并且S_i为指示当处理所述第i个基板时所述陈化处理的进度的陈化指数。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述控制器进一步经配置以当所述第二多个基板中的特定数目的基板的所述陈化指数满足阈值时检测所述陈化处理的所述终点。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述回归操作为最小化所述逻辑方程的输出与所述陈化进度数据中的每一个之间的误差的平方和的最小二乘回归。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述回归操作为支持向量机(SVM)回归，所述支持向量机(SVM)回归调整超平面的位置以具有从所述陈化进度数据的向量的最大余量。

6.一种用于在处理腔室中检测陈化处理的终点的方法，所述方法包括以下步骤：

获得指示第一多个基板中的每一基板的陈化处理的进度的陈化进度数据；

当处理所述第一多个基板中的每一基板时，获得由从耦接至处理腔室的一组传感器中选出的多个传感器测量的历史参数值；

相对于所述第一多个基板中的特定基板的多个历史参数值，归一化所述第一多个基板中的每一基板的所述历史参数值；

通过将一系数集应用于所述第一多个基板中的每一基板的所述归一化历史参数值，生成多变量分析(MVA)模型；

通过利用所述第一多个基板中的每一基板的所述归一化历史参数值对逻辑方程的输出值执行回归操作来决定所述系数集，其中所述逻辑方程的输入为所述MVA模型的输出；

当处理第二多个基板中的每一基板时，从所述多个传感器接收多个实质实时参数值；和

使用具有所述多个实质实时参数值的所述MVA模型，决定所述陈化处理的终点。

7.如权利要求6所述的方法，进一步包括：取决于所述处理腔室执行的处理的种类，在所述一组传感器中选出所述多个传感器以收集。

8.如权利要求6所述的方法，其中所述回归操作为分别最小化所述逻辑方程的每一输出与所述陈化进度数据中的每一者之间的误差的平方和的最小二乘回归。

9.如权利要求6所述的方法，其中所述回归操作为支持向量机(SVM)回归，所述支持向量机(SVM)回归调整超平面的位置以具有从所述陈化进度数据的向量的最大余量。

10.如权利要求6所述的方法，其中所述逻辑方程为：

其中y_i为所述MVA模型针对第i个基板的输出，并且S_i为指示当处理所述第i个基板时所述陈化处理的进度的陈化指数。