[发明专利]W-Ti溅射靶有效
| 申请号： | 201980029063.0 | 申请日： | 2019-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN112055758B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 木内香歩;斋藤淳 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C27/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ti 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种W-Ti溅射靶，其特征在于，具有如下组成：含有5质量％以上且20质量％以下的范围内的Ti、25质量ppm以上且100质量ppm以下的范围内的Fe、8质量ppm以上且35质量ppm以下的范围内的Cr及1质量ppm以上且15质量ppm以下的范围内的Ni，并且其余部分由W及不可避免的杂质组成。
2.一种W-Ti溅射靶，其特征在于，
具有如下组成：含有5质量％以上且20质量％以下的范围内的Ti、25质量ppm以上且100质量ppm以下的范围内的Fe及8质量ppm以上且35质量ppm以下的范围内的Cr，并且其余部分由W及不可避免的杂质组成，
在靶面内的多个部位测定Fe浓度及Cr浓度，并由以下的式(1)计算出的Fe浓度的偏差及Cr浓度的偏差分别为50％以下，
式(1)：浓度的偏差＝{(Cmax-Cmin)/Cave}×100
Cave：测定对象元素的多个点的平均浓度；
Cmax：测定对象元素的多个点的最大浓度；
Cmin：测定对象元素的多个点的最小浓度。
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