[发明专利]多束检查装置

权利要求书

1.一种微结构阵列，所述阵列包括：

第一组多极结构，具有相对于所述阵列的中心轴线的第一径向偏移和第一取向角，其中所述第一径向偏移相等或基本相等，所述第一组多极结构的所述第一取向角相等或基本相等，并且所述第一组多极结构包括由第一驱动器电连接和驱动的对应电极。

2.根据权利要求1所述的微结构阵列，其中所述第一驱动器被配置为使得所述第一组多极结构能够用作微偏转器，以使带电粒子多束装置中的第一组束波偏转。

3.根据权利要求1所述的微结构阵列，其中所述第一驱动器被配置为使得所述第一组多极结构能够用作微消像散器，以补偿带电粒子多束装置中的第一组束斑的像散像差。

4.根据权利要求2所述的微结构阵列，还包括第二组多极结构，所述第二组多极结构具有相对于所述中心轴线的第二径向偏移和第二取向角，其中所述第二径向偏移相等或基本相等，并且所述第二组多极结构的所述第二取向角相等或基本相等，并且所述第二组多极结构包括由第二驱动器电连接和驱动的对应电极。

5.根据权利要求4所述的微结构阵列，其中所述第二驱动器被配置为使得所述第二组多极结构能够用作微偏转器，以使所述带电粒子多束装置中的第二组束波偏转。

6.根据权利要求4所述的微结构阵列，其中所述第二驱动器被配置为使得所述第二组多极结构能够用作微消像散器，以补偿所述带电粒子多束装置中的第二组束斑的像散像差。

7.根据权利要求2所述的微结构阵列，还包括第一组单极结构，所述第一组单极结构具有相对于所述中心轴线的第二径向偏移，其中所述第二径向偏移相等或基本相等，并且所述第一组单极结构包括由第二驱动器电连接和驱动的对应电极。

8.根据权利要求7所述的微结构阵列，其中所述第二驱动器被配置为使得所述第一组单极结构能够用作微透镜，以补偿所述带电粒子多束装置中的第二组束斑的场曲率像差。

9.根据权利要求1所述的微结构阵列，其中所述第一组中的第一微极结构被配置为形成电子源的虚像。

10.根据权利要求1所述的微结构阵列，其中所述第一组中的每个微极结构被配置为形成电子源的虚像。

11.根据权利要求1所述的微结构阵列，其中所述第一组中的每个微极结构被配置为形成同一单个电子源的不同虚像。

12.根据权利要求1所述的微结构阵列，其中所述第一组中的第一微极结构被配置为生成基本垂直于所述第一微极结构的中心轴线的电场。

13.一种带电粒子装置中的源转换单元，包括：

第一微结构阵列，包括第一组多极结构，所述第一组多极结构具有相对于所述装置的光轴的第一径向偏移和第一取向角，其中所述第一径向偏移相等或基本相等，所述第一组多极结构的所述第一取向角相等或基本相等，并且所述第一组多极结构包括由与所述第一微结构阵列相关联的第一驱动器电连接和驱动的对应电极。

14.根据权利要求13所述的源转换单元，其中所述第一驱动器被配置为使得所述第一组多极结构能够用作微偏转器，以使带电粒子束的第一组束波偏转以在所述装置中形成第一组探测斑点。

15.一种制造包括多个微结构的微结构阵列的方法，所述方法包括：

形成围绕所述阵列的中心轴线的所述多个微结构；

形成所述多个微结构中的第一组微结构中的微结构之间的第一组连接，其中所述第一组微结构中的所述微结构被定位为相对于所述中心轴线的第一径向偏移；以及

形成所述多个微结构中的第二组微结构中的微结构之间的第二组连接，其中所述第二组微结构中的所述微结构被定位为相对于所述中心轴线的第二径向偏移。