[发明专利]真空加热装置、反射器装置

权利要求书

1.一种真空加热装置，具有：

真空槽，被真空排气；

加热源，被配置在前述真空槽的内部，放射红外线而将加热对象物加热；以及

反射器装置，被配置在前述真空槽的内部，具有将被从前述加热源放射并朝向前述真空槽的内壁面中的安装面的红外线遮蔽的多个单位反射板；

前述单位反射板被沿着前述安装面配置，

其特征在于，

前述反射器装置具有：

多个固定装置，一端被固定于前述真空槽的前述安装面，另一端被固定于前述单位反射板；以及

多个保持装置，一端被固定于前述真空槽的前述安装面，另一端被固定于前述单位反射板；

前述固定装置被固定于前述安装面的场所与被固定于前述单位反射板的场所之间的相对的位置通过前述固定装置而被固定，

前述保持装置具有能够变形的变形部，构成为，前述保持装置被固定于前述安装面的场所与被固定于前述单位反射板的场所之间的相对的位置关系通过前述变形部的变形而被变更。

2.如权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，

当前述单位反射板被加热而热伸长时，前述变形部被变形，前述保持装置被固定于前述安装面的场所与被固定于前述单位反射板的场所之间的相对的位置关系被变更。

3.如权利要求2所述的真空加热装置，其特征在于，

前述变形部是板簧，前述板簧被配置在通过前述单位反射板的热伸长而被附加与前述板簧的表面垂直的方向的力的朝向。

4.如权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，

在前述单位反射板设有游隙孔，前述保持装置通过插通于前述游隙孔的第一螺纹止动装置而被螺纹止动固定于前述安装面，

前述游隙孔的边缘和前述第一螺纹止动装置构成为，即使前述单位反射板沿着前述安装面热伸长，在前述单位反射板为室温以上且比上限温度低温的温度范围也会成为非接触。

5.如权利要求4所述的真空加热装置，其特征在于，

前述固定装置和前述保持装置被焊接固定于前述单位反射板。

6.如权利要求4所述的真空加热装置，其特征在于，

前述固定装置被焊接固定于前述单位反射板，

前述保持装置通过第二螺纹止动装置而被螺纹止动固定于前述单位反射板。

7.如权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，

被固定于一片前述单位反射板的前述固定装置被配置在被固定于相同的前述单位反射板的一个前述保持装置与另一个前述保持装置之间。

8.如权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，

以被固定于一片前述单位反射板的前述固定装置为中心，而配置有被固定于相同的前述单位反射板的多个前述保持装置。

9.一种反射器装置，其特征在于，

具有：

多个单位反射板，在真空槽的内部被沿着前述真空槽的内壁面中的安装面配置，将被从加热源放射并朝向前述安装面的红外线遮蔽；

多个固定装置，一端被固定于前述真空槽的前述安装面，另一端被固定于前述单位反射板；以及

多个保持装置，一端被固定于前述真空槽的前述安装面，另一端被固定于前述单位反射板；

前述固定装置被固定于前述安装面的场所与被固定于前述单位反射板的场所之间的相对的位置通过前述固定装置而被固定，

前述保持装置具有能够变形的变形部，

构成为，前述保持装置被固定于前述安装面的场所与被固定于前述单位反射板的场所之间的相对的位置关系通过前述变形部的变形而被变更。

10.如权利要求9所述的反射器装置，其特征在于，

当前述单位反射板被加热而热伸长时，前述变形部被变形，前述保持装置被固定于前述安装面的场所与被固定于前述单位反射板的场所之间的相对的位置关系被变更。