[发明专利]臭氧水的制造方法

权利要求书

1.一种臭氧水的制造方法，其特征在于，其是具备如下工序的臭氧水的生成方法：

A工序：准备向纯水中添加盐酸、乙酸、柠檬酸中的至少一种而将pH调节至规定值(pH)的溶液A的工序；

B工序：使以规定的供给流量(Fo)和规定的供给压力(Po)供给的臭氧气体溶解于以规定的供给流量(Fw)和规定的供给压力(Pw)供给的溶液A，从而生成溶液B的工序；

C工序：以生成的臭氧水的液体温度达到规定温度的方式对所述纯水、所述溶液A和所述溶液B中任意者进行加热的工序，其中，

(1)将A工序中的pH的规定值(pH)设为4以下，

(2)将所述臭氧气体的浓度(N)(g/Nm3)设为200g/Nm3≤N的范围，

(3)将Po、Pw设为0.15MPa≤Po≤0.695MPa、0.1MPa≤Pw≤0.7MPa的范围，并且

将(Pw-Po)的值设为0.005MPa≤(Pw-Po)≤0.2MPa的范围，

将Po、Pw的关系设为PoPw，

(4)将Fo、Fw设为0.25NL/min≤Fo≤80NL/min、0.5L/min≤Fw≤40L/min的范围，

(5)将C工序中的规定温度设为60℃～90℃的范围，

(6)至少在包含B工序之前或之后的时刻或者与B工序同时的时刻来实施C工序。

2.一种臭氧水，其通过权利要求1所述的制造方法而得到。

3.一种处理液，其以权利要求2所述的臭氧水作为基质。

4.一种处理方法，其使用权利要求3所述的处理液。

5.一种臭氧水的制造方法，其特征在于，其是具备如下工序的臭氧水的生成方法：

A工序：准备向纯水中添加盐酸、乙酸、柠檬酸中的至少一种而将pH调节至规定值(pH)的溶液A的工序；

B工序：将以规定的供给流量(Fo)和规定的供给压力(Po)供给的臭氧气体溶解于以规定的供给流量(Fw)和规定的供给压力(Pw)供给的溶液A而生成溶液B的工序；

C工序：以生成的臭氧水的液体温度达到规定温度的方式，加热所述纯水、所述溶液A和所述溶液B中任意者的工序，

所述制造方法如下实施：

(1)将A工序中的pH的规定值(pH)设为4以下，

(2)将所述臭氧气体的浓度(N)(g/Nm3)设为200g/Nm3≤N的范围，

(3)将Po、Pw设为0.15MPa≤Po≤0.695MPa、0.1MPa≤Pw≤0.7MPa的范围，并且，

将(Pw-Po)的值设为0.005MPa≤(Pw-Po)≤0.2MPa的范围，

将Po、Pw的关系设为PoPw，

(4)将Fo、Fw设为0.25NL/min≤Fo≤80NL/min、0.5L/min≤Fw≤40L/min的范围。

6.一种臭氧水，其通过权利要求5所述的制造方法而得到。

7.一种处理液，其以权利要求6所述的臭氧水作为基质。

8.一种处理方法，其使用权利要求7所述的处理液。

9.根据权利要求1所述的臭氧水的制造方法，其省略所述C工序。