[发明专利]多光谱光传感器

说明书

公开了一种光电装置，其包括：包括多个第一光电二极管的光电二极管阵列，每一个第一光电二极管包括相应的n+区以及相应的n型井区；设置在光电二极管阵列上方的导向阵列，导向阵列包括通过遮光材料层彼此分开的多个导向构件，导向构件与第一光电二极管的n+区对准，使得每一个导向构件设置在不同的相应的n+区上方，并且遮光材料层与第一光电二极管的n型井区对准；以及设置在导向阵列上方的滤波器阵列，滤波器阵列包括多个带通滤波器，每一个带通滤波器与多个导向构件中的不同的导向构件对准，每一个带通滤波器具有不同的通频带。

相关申请的交叉引用

本申请要求2018年3月30日提交的编号为15/941,855的美国专利申请的益处，该美国专利申请的内容通过引用并入本文中。

技术领域

本公开大体上涉及光传感装置，并且更具体地涉及多光谱光传感器。

背景技术

测量色彩是评估各种电子装置(诸如打印装置和显示装置)的操作的重要的部分。此外，测量色彩是评估各种光源(诸如发光电二极管(LED)、荧光灯、卤素灯、红外线(IR)光源、以及紫外线(UV)光源)的性能的重要的部分。在该领域中普遍所用的色度计可能会有高成本。其成本可能在数百美元起跳，并且高达数千美元，而且在某些情况中其成本可能是过高的。因此，对于可以更有效率地制造并且具有降低的成本的新的色度计的设计存在着需求。

发明内容

本公开解决了该需求。根据本公开的各方面，提出了一种光电装置，其包括：包括多个第一光电二极管的光电二极管阵列，每一个第一光电二极管包括相应的n+区以及相应的n型井区；设置在该光电二极管阵列上方的导向阵列，该导向阵列包括通过遮光材料层彼此分开的多个导向构件，该导向构件与第一光电二极管的n+区对准，使得每一个导向构件设置在不同的相应的n+区上方，并且该遮光材料层与第一光电二极管的n型井区对准；以及设置在该导向阵列上方的滤波器阵列，该滤波器阵列包括多个带通滤波器，每一个带通滤波器与多个导向构件中的不同的导向构件对准，每一个带通滤波器具有不同的通频带。

根据本公开的各方面，提出了一种光电装置，其包括：包括多个第一光电二极管的光电二极管阵列；设置在光电二极管阵列上方的导向阵列，该导向阵列包括通过遮光材料层彼此分开的多个导向构件，每一个导向构件与多个第一光电二极管中的不同的第一光电二极管对准；以及设置在该导向阵列上方的滤波器阵列，该滤波器阵列包括多个带通滤波器，每一个带通滤波器与该多个导向构件中的不同的导向构件对准，并且每一个带通滤波器具有不同的相应的通频带。

根据本公开的各方面，提出了一种用于制造光电装置的方法，其包括：在光电二极管阵列上方形成第一透光材料层，该光电二极管阵列包括多个光电二极管，每一个光电二极管具有相应的n型井区；在该第一透光材料层中形成多个第一沟槽；在该多个第一沟槽中形成遮光材料层；在该第一透光材料层以及该遮光材料层上方形成第一金属层；在该第一金属层上方形成第二透光材料层；在该第二透光材料层中形成多个第二沟槽，第二沟槽中的每一个具有不同的深度；在该多个第二沟槽中的每一个中形成相应的第二金属层；以及在该第二沟槽的相应的第二金属层形成在该第二沟槽中之后，用透光材料来填充第二沟槽中的每一个。

附图说明

下述附图仅用于说明目的。附图并非旨在限制本公开的范围。在各个实施例中，图中所示的相似参考标记指示相同的部件。

图1A是根据本公开的各方面的检测器阵列的示例的横截面的侧视图，其包括IR通过滤波器以及IR截止滤波器；

图1B是根据本公开的各方面的带通滤波器的示例的横截面的侧视图，其是图1的检测器阵列的一部分；

图1C是根据本公开的各方面的图1A的检测器阵列的俯视图，其中IR通过滤波器以及IR截止滤波器被移除；

图2是描绘多个带通滤波器的通频带的图，其是图1A的检测器阵列的一部分；