[发明专利]对象物的表面测定装置及测定方法

权利要求书

1.一种对象物的表面测定装置，包括：

支撑部，用于放置测定对象物；

至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；

驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对直线驱动；以及

运算部，合算上述至少3个探针接收的测定信号来生成合成信号，在上述合成信号中去除在上述相对直线驱动过程中发生的驱动误差信号和上述测定对象物的表面形状误差信号，

上述至少3个探针包括第一探针至第三探针，

上述第一探针与上述第二探针之间的距离与上述测定对象的测量长度的比例以及上述第二探针与上述第三探针之间的距离与上述测定对象的测量长度的比例分别呈现为不可约分数。

2.根据权利要求1所述的对象物的表面测定装置，其中，

还包括探针支撑部，位于上述支撑部的一侧，用于支撑上述至少3个探针，

上述至少3个探针在与上述相对直线驱动方向并排的直线上隔开规定间隔来配置。

3.根据权利要求2所述的对象物的表面测定装置，其中，

上述第一探针至第三探针与上述探针支撑部的多个侧面中的相同的一侧面相结合。

4.根据权利要求3所述的对象物的表面测定装置，其中，

上述第一探针至第三探针分别位于相同高度。

5.根据权利要求1所述的对象物的表面测定装置，其中，

上述第一探针至第三探针分别通过上述相对直线驱动来沿着相同的路径单独测定上述测定对象物的表面变化。

6.根据权利要求1所述的对象物的表面测定装置，其中，

上述运算部对在上述合成信号中去除上述驱动误差信号的信号进行傅立叶变换来获取谐波成分线性结合的信号，

在将上述第一探针与上述第二探针之间的距离与测定对象的测量长度的比例定义为不可约分数a_L/T/b_L/T，将上述第二探针与上述第三探针之间的距离与测定对象的测量长度的比例定义为不可约分数a_R/T/b_R/T的情况下，在上述谐波成分中，波长最短的谐波的波长λ_min与波长最长的谐波的波长λ_max之间的比例λ_max/λ_min值小于上述b_L/T与b_R/T的最小公倍数。

7.根据权利要求2所述的对象物的表面测定装置，其中，

上述探针支撑部包括：

第一支撑区域，与上述测定对象物的一侧面相向；以及

第二支撑区域，与上述测定对象物的另一侧面相向，

上述至少3个探针包括：

第一探针至第三探针，与上述第一支撑区域相结合，在与上述相对直线驱动方向并排的直线上排列成一列；以及

第四探针至第六探针，与上述第二支撑区域相结合，在与上述相对直线驱动方向并排的直线上排列成一列。

8.根据权利要求7所述的对象物的表面测定装置，其中，

上述至少3个探针还包括第七探针至第九探针，与上述第二支撑区域相结合，与上述第四探针至第六探针平行地配置。