[发明专利]对象物的表面测定装置及测定方法

说明书

公开对象物的表面测定装置。对象物的表面测定装置包括：支撑部，用于放置测定对象物；至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；以及驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。

技术领域

本发明涉及测定对象物的表面的测定装置及测定方法。

背景技术

表面测定装置为测定对象物的表面的装置。通常，在测定对象物和传感器中的一个相对于另一个进行相对驱动期间，表面测定装置获取在上述传感器中对测定对象物的表面进行测定的测定信号。

但是，在上述传感器中获取的测定信号一同流入基于上述相对驱动的驱动误差成分和测定对象物的形状误差成分并被检测。在此情况下，在未从上述测定信号精巧地分离了上述误差成分的情况下，测试不准确度将会增加。具体地，当对测定对象物的形状进行测定时，由于因上述相对驱动而发生的驱动误差，测定不准确度将会增加。相反，当测定驱动误差成分时，测定基准部的形状误差向测定信号流入并成为测定误差的原因，结果，误差运动测定结果的不准确度将会增加。

作为针对上述问题的对策，使用了精密测定装置，精密测定装置存在装置的高价化及大型化且仅可在限定的测定环境下使用的问题，而且存在很难实时测定等缺点。

发明内容

技术问题

本发明所要解决的一技术问题在于，提供如下的对象物的表面测定装置及测定方法，即，可通过直线驱动精密地测定相对直线移动的测定对象物的表面形状。

并且，本发明所要解决的其他技术问题在于，提供如下的表面测定装置及测定方法，即，可以精密地测定进行相对旋转运动的测定对象物的表面形状。

技术方案

本发明的对象物的表面测定装置包括：支撑部，用于放置测定对象物；至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；以及驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。

并且，本发明还可包括探针支撑部，位于上述支撑部的一侧，用于支撑上述至少3个探针，上述驱动部使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对直线驱动，上述至少3个探针可在与上述相对直线驱动方向并排的直线上隔开规定间隔来配置。

并且，本发明还可包括运算部，合算在上述至少3个探针接收的测定信号来生成合成信号，在上述合成信号中去除在上述相对直线驱动过程中发生的驱动误差信号和上述测定对象物的表面形状误差信号。

并且，上述至少3个探针可包括第一探针至第三探针，上述第一探针与上述第二探针之间的距离与上述测定对象的测量长度的比例以及上述第二探针与上述第三探针之间的距离与上述测定对象的测量长度的比例分别呈现为不可约分数。

并且，上述第一探针至第三探针可以与上述探针支撑部的多个侧面中的相同的一侧面相结合。

并且，上述第一探针至第三探针可分别位于相同高度。

并且，上述第一探针至第三探针可分别通过上述相对直线驱动来沿着相同的路径单独测定上述测定对象物的表面变化。

并且，上述运算部可对在上述合成信号中去除上述驱动误差信号的信号进行傅立叶变换来获取谐波成分线性结合的信号，在将上述第一探针与上述第二探针之间的距离与测定对象的测量长度的比例定义为不可约分数(a_L/T/b_L/T)，将上述第二探针与上述第三探针之间的距离与测定对象的测量长度的比例定义为不可约分数(a_R/T/b_R/T)的情况下，在上述谐波成分中，波长最短的谐波的波长(λ_min)与波长最长的谐波的波长(λ_max)之间的比例(λ_max/λ_min)值小于上述b_L/T与b_R/T的最小公倍数。