[发明专利]图案形成材料及固化膜、及固化图案的制造方法

说明书

一种图案形成材料，其含有：具有聚合性双键的含酸基树脂、和锂部分固定型蒙皂石。

技术领域

本发明涉及图案形成材料及固化膜、及固化图案的制造方法。

背景技术

用于印刷电路板用的阻焊层的树脂材料等图案形成材料要求在少的曝光量下会进行固化、碱显影性优异等。

作为图案形成材料，例如已知有使通过使甲阶酚醛清漆型环氧树脂、丙烯酸和苯二甲酸酐反应而得的中间体进一步与四氢苯二甲酸酐反应而得到的含酸基树脂(含酸基环氧丙烯酸酯树脂)(例如，参照专利文献1。)，但感光度及碱显影性不充分，无法满足当下越发提高的要求性能。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-259663号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于提供感光度及碱显影性优异的图案形成材料及使用该图案形成材料形成的固化膜、以及使用该图案形成材料的固化图案的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明一方面提供一种图案形成材料，其含有：具有聚合性双键的含酸基树脂、和锂部分固定型蒙皂石。

上述图案形成材料组合有具有聚合性双键的含酸基树脂、和锂部分固定型蒙皂石，因此感光度及碱显影性优异。

含酸基树脂可包含(甲基)丙烯酰基。

酸基可以为选自由羧基、磺酸基及磷酸基组成的组中的至少一种。

含酸基树脂的重均分子量可以为1000～20000。

锂部分固定型蒙皂石的阳离子交换容量可以为1～70meq/100g。

锂部分固定型蒙皂石的含量相对于图案形成材料中的不挥发成分总量可以为3～70质量％。

本发明一方面提供一种固化膜，其包含上述图案形成材料的固化物。

固化膜可以形成为图案状。即，固化膜可以为固化图案。

固化膜可以为抗蚀膜。

本发明一方面提供一种固化图案的制造方法，其具备使由上述图案形成材料形成的膜的一部分固化的工序、和将膜的未固化部分去除而得到固化图案的工序。

通过上述制造方法，可以制造高分辨率的固化图案。

使膜的一部分固化的工序可包含对膜以图案状照射活性能量射线的工序。

发明的效果

通过本发明，可以提供感光度及碱显影性优异的图案形成材料及使用该图案形成材料而形成的固化膜，以及使用该图案形成材料的固化图案的制造方法。

具体实施方式

以下，对本发明的优选实施方式进行详细说明。但本发明并不限定于以下的实施方式。

图案形成材料

实施方式的图案形成材料是为了形成固化图案而使用的材料(固化性树脂组合物)。图案形成材料含有：具有聚合性双键的含酸基树脂(以下，也简称作“含酸基树脂”。)、和锂部分固定型蒙皂石。