[发明专利]用于集成的端到端自对准多重图案化工艺的操作平台和方法

权利要求书

1.一种使用在公共生产平台上执行的集成的加工步骤序列来在半导体工件上进行自对准多重图案化的方法，该公共生产平台托管多个加工模块，该多个加工模块包括一个或多个成膜模块、一个或多个刻蚀模块和一个或多个搬送模块，该集成的加工步骤序列包括：

将工件接收到该公共生产平台中，该工件具有形成在其上的心轴图案，该心轴图案包括分隔开第一间距距离的多个第一特征；

使用该一个或多个成膜模块和该一个或多个刻蚀模块、至少部分地基于该心轴图案来形成侧壁间隔物图案，该侧壁间隔物图案包括分隔开第二间距距离的多个第二特征，其中，该第一间距距离大于该第二间距距离；

其中，该集成的加工步骤序列是在该公共生产平台内的受控环境中且不离开该受控环境的情况下执行的，并且其中，该一个或多个搬送模块用于在使该工件维持在该受控环境内的同时在该多个加工模块之间搬送该工件。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

在该受控环境内，获得与该侧壁间隔物图案的形成相关的测量数据，并且基于该测量数据确定该侧壁间隔物图案的厚度、宽度或轮廓是否满足目标条件。

3.如权利要求2所述的方法，其中，该多个加工模块包括校正模块，该方法进一步包括：

当确定该侧壁间隔物图案的厚度、宽度或轮廓不满足该目标条件时，在该校正模块中对该工件进行加工以更改该侧壁间隔物图案。

4.如权利要求2所述的方法，其中，该一个或多个搬送模块进一步包括位于该一个或多个搬送模块中的至少一个搬送模块的专用区内的工件测量区域，并且其中，该获得测量数据是在该工件在该多个加工模块之间的多次搬送中的至少一次搬送期间通过将该工件传递到该工件测量区域中来执行的。

5.如权利要求2所述的方法，其中，该公共生产平台包括一个或多个计量模块，并且其中，该获得测量数据是通过在该集成的加工步骤序列中的一个或多个加工步骤之间将该工件搬送到该计量模块中来执行的。

6.如权利要求2所述的方法，进一步包括：

使用托管在该公共生产平台上的智能系统、基于所获得的测量数据来控制在该公共生产平台上执行的集成的加工步骤序列。

7.如权利要求1所述的方法，其中，形成该侧壁间隔物图案包括自对准双重图案化工艺、自对准三重图案化工艺、自对准四重图案化工艺、或自对准八重图案化工艺。

8.一种在半导体工件上加工材料的方法，该方法包括集成的加工步骤序列，该集成的加工步骤序列包括：

将工件接收到公共生产平台中，该工件具有形成在其上的心轴图案，该心轴图案包括多条心轴线；

使用托管在该公共生产平台上的第一成膜模块在该心轴图案上保形地施加第一薄膜；

在不破坏真空的情况下，使用托管在该公共生产平台上的第一刻蚀模块从该心轴图案的上表面和与该心轴图案相邻的下表面上去除该第一薄膜，以留下该心轴图案的侧壁上的第一薄膜，从而形成第一侧壁间隔物；以及

在不破坏真空的情况下，使用托管在该公共生产平台上的第二刻蚀模块从该工件上去除该心轴图案，以留下这些第一侧壁间隔物，从而形成包括多个特征的新特征图案，这些特征的数量是这些心轴线数量的两倍，

其中，该公共生产平台包括一个或多个搬送模块，该一个或多个搬送模块用于在不破坏真空的情况下在该第一成膜模块、该第一刻蚀模块和该第二刻蚀模块之间搬送该工件。

9.如权利要求8所述的方法，进一步包括：

在不破坏真空的情况下，获得与该工件的一个或多个属性相关的测量数据，并且基于该测量数据确定该一个或多个属性是否满足目标条件。