[发明专利]泵

权利要求书

1.一种泵，其特征在于，

具备：

板状部件，其具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、以及将所述振动板与所述支承板连结并将所述振动板支承为能够沿主面方向振动的多个支承部件，在所述多个支承部件间具备第一通气孔；

流路形成部件，其与所述板状部件对置配置，且在与所述板状部件对置的区域具有第二通气孔；

泵室，其由所述板状部件、所述流路形成部件以及与所述板状部件和所述流路形成部件连接的侧壁部件围起而形成，且具有与所述第二通气孔连通的中央区域和与所述第一通气孔连通的外缘区域；以及

第一薄膜阀，其配置于所述泵室内，

在所述中央区域的压力比所述外缘区域的压力低时，所述第一薄膜阀与所述振动板和所述流路形成部件抵接。

2.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，

在俯视下，所述第一薄膜阀配置于使所述第二通气孔在被所述第一薄膜阀的外端围起的区域内的位置，所述第一薄膜阀固定于所述振动板或所述流路形成部件，并使外端侧的区域能够变形。

3.根据权利要求2所述的泵，其特征在于，

俯视下，所述振动板的中央区域具有从所述一个主面到另一个主面的厚度比所述振动板的外端厚的厚部，

所述第一薄膜阀是环状，

所述第一薄膜阀的环状的内端沿着所述厚部的外缘配置。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的泵，其特征在于，

俯视下，在所述第二通气孔的周缘具备配置于比所述第一薄膜阀的配置位置靠近所述第二通气孔的位置的第二薄膜阀，

在所述泵室内的所述中央区域的压力高于所述外缘区域的压力时，所述第二薄膜阀与所述振动板、所述流路形成部件抵接。

5.根据权利要求4所述的泵，其特征在于，

所述第二薄膜阀固定于所述振动板或所述流路形成部件，且使外端侧的区域能够变形。

6.一种泵，其特征在于，

具备：

板状部件，其具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、以及将所述振动板与所述支承板连结并将所述振动板支承为能够沿主面方向振动的多个支承部件，且在所述多个支承部件间具备第一通气孔；

流路形成部件，其与所述板状部件对置配置，且在与所述板状部件对置的区域具有第二通气孔；

泵室，其由所述板状部件、所述流路形成部件以及与所述板状部件和所述流路形成部件连接的侧壁部件围起而形成，且具有与所述第二通气孔连通的中央区域和与所述第一通气孔连通的外缘区域；以及

第三薄膜阀，其配置于所述泵室内，

在所述中央区域的压力高于所述外缘区域的压力时，所述第三薄膜阀与所述振动板、所述流路形成部件抵接。

7.根据权利要求6所述的泵，其特征在于，

在俯视下，所述第三薄膜阀配置于使所述第二通气孔在被所述第三薄膜阀的外端围起的区域内的位置，所述第三薄膜阀固定于所述振动板或所述流路形成部件，并使中央侧的区域能够变形。

8.根据权利要求7所述的泵，其特征在于，

俯视下，所述振动板的中央区域具有从所述一方主面到另一个主面的厚度比所述振动板的外端厚的厚部，

所述第三薄膜阀是环状，

所述第三薄膜阀的环状的内端沿着所述厚部的外缘配置。

9.根据权利要求6～8中的任一项所述的泵，其特征在于，

俯视下，在所述第二通气孔的周缘具备配置于比所述第三薄膜阀的配置位置靠近所述第二通气孔的位置的第四薄膜阀，

在所述泵室内的所述中央区域的压力低于所述外缘区域的压力时，所述第四薄膜阀与所述振动板、所述流路形成部件抵接。

10.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，

所述第四薄膜阀固定于所述振动板或所述流路形成部件，且使中央侧的区域能够变形。