[发明专利]泵

说明书

泵(10)具备振动板(11)、流路形成部件(15)、泵室(101)以及薄膜阀(13)。振动板(11)配置有压电元件(12)，通过该压电元件(12)的形变来振动，且在外周配置有空隙(114)。流路形成部件(15)与振动板(11)对置配置，且在与振动板(11)对置的区域具有孔(151)。泵室(101)由振动板(11)和流路形成部件(15)围起，且具有与孔(151)连通的中央区域和与空隙(114)连通的外缘区域。薄膜阀(13)配置于泵室(101)内。在中央区域的压力低于外缘区域的压力时，薄膜阀(13)与振动板(11)、流路形成部件(15)抵接。

技术领域

本发明涉及利用压电体的泵。

背景技术

以往，如专利文献1、专利文献2、以及专利文献3所示，设计有各种利用压电体来输送流体的泵。

专利文献1、专利文献2、专利文献3所示的泵利用借助压电体形成的振动来输送流体。通过使用压电体，专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵实现小型化、降低高度。

另外，专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵具备单向地输送流体的整流机构。

专利文献1：国际公布第2016/175185号

专利文献2：日本特开2009-74418号公报

专利文献3：国际公布第2016/013390号

然而，在专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵的结构中，在泵特性上存在某种程度的极限。泵特性由压力或流量来表示，越能够提高压力，泵特性就越优异，越能够扩大流量，泵特性就越优异。

并且，在专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵的结构中，有时泵特性受整流机构限制。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供具有整流功能而且具有优异的泵特性的泵。

本发明的泵具备板状部件、流路形成部件、泵室以及第一薄膜阀。板状部件具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、以及将振动板与支承板连结并将振动板支承为能够沿主面方向振动的多个支承部件，且在多个支承部件间具备第一通气孔。流路形成部件与板状部件对置配置，且在流路形成部件的与板状部件对置的区域具有第二通气孔。泵室由板状部件、流路形成部件以及与板状部件和流路形成部件连接的侧壁部件围起而形成，且具有与第二通气孔连通的中央区域和与第一通气孔连通的外缘区域。第一薄膜阀配置于泵室内。在中央区域的压力比外缘区域的压力低时，第一薄膜阀同振动板和流路形成部件抵接。

在该结构中，在将第二通气孔作为吸入口且将第一通气孔作为排出口的形态中，抑制吸入时的流体从空隙侧朝泵室的反向流入。

另外，优选在本发明的泵中，是如下结构。在俯视下，第一薄膜阀配置于使第二通气孔在被第一薄膜阀的外端围起的区域内的位置，该第一薄膜阀固定于振动板或流路形成部件，使外端侧的区域能够变形。

在该结构中，能够以简单的结构实现抑制上述反向流入的结构。

另外，优选在本发明的泵中，是如下结构。俯视下，振动板的中央区域具有从一个主面到另一个主面的厚度比振动板的外端厚的厚部。第一薄膜阀是环状，第一薄膜阀的环状的内端沿着厚部的外缘配置。

在该结构中，第一薄膜阀容易且高精度地设置于能够实现上述动作的位置。

另外，优选在本发明的泵中，是如下结构。泵具备第二薄膜阀。在俯视下，在第二通气孔的周缘处，第二薄膜阀配置于比第一薄膜阀的配置位置靠近第二通气孔的位置。在泵室内的中央区域的压力比外缘区域的压力高时，第二薄膜阀与振动板、前述流路形成部件抵接。

在该结构中，进一步抑制在将积存于泵室的流体向外缘的空隙排出时，流体从作为吸入口的第二通气孔泄漏这种情况。