[发明专利]测量装置、计算机可读存储介质及测量装置的控制方法

权利要求书

1.一种测量装置，使用通过与所述测量装置类型不同的其它的测量装置得到的针对样品的其它装置测量结果来得到针对所述样品的自己的测量结果，其特征在于，包括：

输出数据取得部，取得通过包括所述其它装置测量结果的所述其它的测量装置得到的输出数据；

指定位置取得部，在所述输出数据由能够识别所述其它装置测量结果的方式所显示的状态下，用户指定在显示中所表示出的所述其他装置测量结果，由此取得表示在所述输出数据中显示出所述其它装置测量结果的地址的指定位置；

其它装置测量结果取得部，取得包含在所述输出数据取得部所取得的所述输出数据中、所述指定位置的其它装置测量结果；

测量结果取得部，使用所取得的其它装置测量结果来取得所述自己的测量结果；

位置数据存储部，存储表示所述指定位置的位置数据，

其中，当所述输出数据取得部取得通过所述其它的测量装置得到的其它的输出数据时，如果在所述位置数据存储部中已经存储有所述位置数据，则所述其它装置测量结果取得部取得该位置数据所表示的指定位置中包含的所述其它装置测量结果。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述测量装置还具有显示部，显示包含在所述输出数据中的所述其它装置测量结果，

所述指定位置取得部取得所显示的所述其它装置测量结果中被用户指定的所述其它装置测量结果所表示的位置，作为所述位置数据。

3.根据权利要求1或2所述的测量装置，其特征在于，

所述测量装置还具有在所述位置数据被存储时取得的所述输出数据与所述其它的输出数据的样式不同时，向用户发出警告的警告部。

4.根据权利要求1或2所述的测量装置，其特征在于，

所述测量装置是通过向样品的表面照射1次X射线而产生的荧光X射线来进行样品的分析的荧光X射线分析装置。

5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，

所述样品是在表面形成了薄膜的基板，

所述其它装置测量结果是在所述其它的测量装置中测量出的所述薄膜的膜厚、密度或所述薄膜中包含的元素的浓度。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，

所述输出数据与所述薄膜的膜厚相关联，并包含被测量了所述膜厚的所述基板的测量位置，

作为所述荧光X射线分析装置的所述测量装置向所述测量位置照射1次X射线，通过产生的荧光X射线分析所述薄膜中包含的元素的浓度、或者所述薄膜的密度。

7.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，由在使用通过与测量装置类型不同的其它的测量装置得到的针对样品的其它装置测量结果来得到针对所述样品的自己的测量结果的测量装置中所使用的计算机所执行，其特征在于，该程序被所述计算机执行时实现以下步骤：

输出数据取得步骤，取得通过包括所述其它装置测量结果的所述其它的测量装置得到的输出数据；

指定位置取得步骤，在所述输出数据由能够识别所述其它装置测量结果的方式所显示的状态下，用户指定在显示中所表示出的所述其他装置测量结果，由此取得表示在所述输出数据中显示出所述其它装置测量结果的地址的指定位置；

第一其它装置测量结果取得步骤，为了取得所述自己的测量结果，取得包含在所述输出数据取得步骤所取得的所述输出数据中、所述指定位置的其它装置测量结果；

位置数据存储步骤，将表示所述指定位置的位置数据存储在位置数据存储部；以及

第二其它装置测量结果取得步骤，当所述输出数据取得步骤取得通过所述其它的测量装置得到的其它的输出数据时，如果在所述位置数据存储部中已经存储有所述位置数据，则取得该位置数据所表示的指定位置中包含的所述其它装置测量结果。

8.一种测量装置的控制方法，是使用与所述测量装置类型不同的通过其它的测量装置得到的针对样品的其它装置测量结果来得到针对所述样品的自己的测量结果的测量装置的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

输出数据取得步骤，取得通过包括所述其它装置测量结果的所述其它的测量装置得到的输出数据；

指定位置取得步骤，在所述输出数据由能够识别所述其它装置测量结果的方式所显示的状态下，用户指定在显示中所表示出的所述其他装置测量结果，由此取得表示在所述输出数据中显示出所述其它装置测量结果的地址的指定位置；

第一其它装置测量结果取得步骤，取得包含在所述输出数据取得步骤所取得的所述输出数据中、所述指定位置的其它装置测量结果；

测量结果取得步骤，使用所取得的其它装置测量结果来取得所述自己的测量结果；

位置数据存储步骤，将表示所述指定位置的位置数据存储在位置数据存储部；以及

第二其它装置测量结果取得步骤，当所述输出数据取得步骤取得通过所述其它的测量装置得到的其它的输出数据时，如果在所述位置数据存储部中已经存储有所述位置数据，则取得该位置数据所表示的指定位置中包含的所述其它装置测量结果。