[发明专利]测量装置、计算机可读存储介质及测量装置的控制方法

说明书

本发明提供测量装置、测量方法和测量程序，能方便地输入其他测量装置获得的测量结果，并可防止输入错误。使用其它装置测量结果获得自己的测量结果，包括输出数据取得部，取得经其它测量装置得到的输出数据；指定位置取得部，输出数据中的用户指定位置；其它装置测量结果取得部，取得包含在输出数据取得部取得的输出数据中、指定位置的其它装置测量结果；测量结果取得部，使用取得的其它装置测量结果取得自己的测量结果；位置数据存储部，存储表示指定位置的位置数据，当输出数据取得部取得其它测量装置得到的其它输出数据时，如位置数据存储部中已存储位置数据，其它装置测量结果取得部取得该位置数据所表示的指定位置中的其它装置测量结果。

技术领域

本发明涉及测量装置、计算机可读存储介质及测量装置的控制方法。

背景技术

存在各种各样的将由不同的测量手段得到的测量结果进行组合来测量样品的特性的装置、方法。例如，专利文献1公开了一种通过将椭圆偏振光谱仪和荧光X射线分析组合起来测量样品厚度等的装置。专利文献2公开了一种根据通过X射线反射率法测量的薄膜的膜厚及通过荧光X射线测量法测量的薄膜的构成元素量来测量薄膜的密度的方法。专利文献3公开了一种在从全反射临界角度测量薄膜密度之后，使用该密度和荧光X射线分析法测量的附着量来测量膜厚的方法。专利文献4公开了使用激光尘埃分析装置的晶片上的尘埃位置数据，通过荧光X射线分析装置对样品表面上存在的元素进行定性或定量分析的样品表面的检查方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2012-32239号公报

专利文献2:日本特开2002-39969号公报

专利文献3:日本特开平10-318737号公报

专利文献4：日本特开平11-316201号公报

发明内容

发明要解决的课题

如果通过主计算机等共同化了测量数据的样式等的多个测量装置构筑为整体系统，则可以组合各装置的测量数据来利用，但是需要很大的费用。此外，如果使用同时拥有不同的测量方法的复合装置，则能够容易地得到组合了各方法中的测量数据的测量结果，但由于同时拥有的测量方法是有限的，而且测量装置也非常昂贵，所以通常使用不同的测量装置。通常使用的测量装置大多用电子数据取出测量结果，所以从各个测量装置取出的电子数据的样式是多种多样的。因此，当从第一测量装置和第二测量装置取出的电子数据的样式不同时，难以将从第一测量装置取出的电子数据直接用于第二测量装置中的测量。在许多情况下，用户通过手工将从第一测量装置取出的电子数据中包括的测量结果手动输入到第二测量装置等，将该测量数据用于第二测量装置的测量。特别是在样品上测量位置的坐标系、单位系等不同的情况下，需要进行复杂的换算。该作业效率低，并且有容易发生人为错误的问题。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供能够简单输入由其他测量装置获得的测量结果，并且能够防止输入错误的测量装置、测量方法及测量程序。

解决课题的手段

技术方案1记载的测量装置，使用通过其它的测量装置得到的其它装置测量结果来得到自己的测量结果，其特征在于，包括：输出数据取得部，取得通过包括所述其它装置测量结果的所述其它的测量装置得到的输出数据；指定位置取得部，取得所述输出数据中的用户的指定位置；其它装置测量结果取得部，取得包含在所述输出数据取得部所取得的所述输出数据中、所述指定位置的其它装置测量结果；测量结果取得部，使用所取得的其它装置测量结果来取得所述自己的测量结果；位置数据存储部，存储表示所述指定位置的位置数据，其中，当所述输出数据取得部取得通过所述其它的测量装置得到的其它的输出数据时，如果在所述位置数据存储部中已经存储有所述位置数据，则所述其它装置测量结果取得部取得该位置数据所表示的指定位置中包含的所述其它装置测量结果。