[发明专利]对在多个位置处的物体成像的装置在审

专利信息
申请号: 201980039536.5 申请日: 2019-06-11
公开(公告)号: CN112292640A 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: Y·弗拉迪米斯基;R·J·瓦德;M·阿里夫;L·雷日科夫;R·V·古纳瓦达纳 申请(专利权)人: ASML控股股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 胡良均
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 位置 物体 成像 装置
【权利要求书】:

1.一种用于对在第一位置和第二位置之一处的物体成像的装置,所述装置包括:

分束器,被布置为接收来自所述物体的光并且用于将所述光分成第一光束和第二光束;

第一光学元件,被布置为接收所述第一光束;

包括折叠反射镜和第二光学元件的布置,被布置为接收所述第二光束。

2.根据权利要求1所述的装置,还包括在光学上布置在所述分束器与所述第一光学元件之间的第三光学元件和在光学上布置在所述折叠反射镜与所述第二光学元件之间的第四光学元件。

3.根据权利要求1所述的装置,还包括在光学上布置在所述物体与所述分束器之间的第三光学元件。

4.一种用于对在第一位置和第二位置之一处的物体成像的装置,所述装置包括:

分束器,被布置为接收来自所述物体的光并且用于将所述光分成第一光束和第二光束,所述第一光束穿过第一臂,

所述第一臂包括被布置为接收所述第一光束的第一光学元件,和被布置为接收来自所述第一光学元件的所述第一光束的第二光学元件;

折叠反射镜,被布置为接收所述第二光束并且将所述第二光束反射到第二臂中,

所述第二臂包括被布置为接收所反射的第二光束的第三光学元件,和被布置为接收来自所述第三光学元件的所述第二光束的第四光学元件。

5.一种用于对在第一位置和第二位置之一处的物体成像的装置,所述装置包括:

第一光学元件,被布置为接收来自所述物体的光;

分束器,被布置为接收来自所述第一光学元件的光并且用于将所述光分成第一光束和第二光束,所述第一光束穿过第一臂,所述第一臂包括被布置为接收所述第一光束的第二光学元件;以及

包括折叠反射镜和第三光学元件的布置,被布置为接收所述第二光束。

6.一种用于对处于第一位置和第二位置之一的物体进行成像的装置,所述装置包括:

分束器,被布置为将来自所述物体的光分成第一光束和第二光束;

第一光学系统,被布置为接收所述第一光束并且在所述物体处于所述第一位置时对所述物体成像;以及

第二光学系统,被布置为接收所述第二光束并且在所述物体处于所述第二位置时对所述物体成像。

7.根据权利要求6所述的装置,其中所述第一光学系统包括第一光学元件和第二光学元件,并且其中所述第二光学系统包括折叠反射镜、第三光学元件和第四光学元件。

8.根据权利要求6所述的装置,还包括在光学上布置在所述物体与所述分束器之间的第一光学元件,并且其中所述第一光学系统包括第二光学元件并且所述第二光学系统包括折叠反射镜和第三光学元件。

9.一种用于对处于第一位置或第二位置的物体进行成像的装置,所述装置包括:

分束器,被布置为将来自所述物体的通过第一光路的光分成第一光束和第二光束;

第一光学模块,被布置为接收所述第一光束并且在所述物体处于所述第一位置时对所述物体成像;以及

第二光学模块,被布置为接收所述第二光束并且在所述物体处于所述第二位置时对所述物体成像。

10.一种用于对在第一位置和第二位置之一处的物体成像的装置,所述装置包括:

第一光学元件,被配置为以距所述第一位置的第一工作距离WD1和距所述第二位置的第二距离WD2接收来自所述物体的光;

分束器,被布置为接收来自所述第一光学元件的光并且用于将所述光分成第一光束和第二光束,所述第一光束穿过第一臂,所述第一臂包括被布置为接收所述第一光束的焦距为F1'的第一臂透镜组,并且第二光束穿过第二臂透镜组,所述第二臂透镜组具有焦距F2'并且包括以距离d分开的第一透镜和第二透镜;WD1、WD2、F2'和F1'满足以下关系式

其中k是在大约1到大约4的范围内的系数。

11.一种用于对在多个位置中的任何一个位置处的物体成像的装置,所述装置包括:

第一光学分叉模块,包括第一分束器和第一成像模块,所述第一分束器被布置为接收来自所述物体的光并且用于将所述光分成第一光束和第二光束,所述第一成像模块被布置为接收所述第二光束并且用于在所述物体处于所述多个位置中的最远位置时对所述物体成像;

至少一个附加光学分叉模块,包括附加分束器和附加成像模块,所述附加分束器被布置为接收来自所述第一光束的光并且用于将所述光分成成像束和连续束,所述附加成像模块被布置为接收所述成像束并且用于在所述物体处于所述多个位置中的另一位置时对所述物体成像,所述连续束传播到下一附加光学分叉模块和最终光学模块之一,所述最终光学模块被布置为接收来自所述连续束的光并且包括折叠反射镜和最终光学成像模块,所述最终光学成像模块被布置为接收所述第二光束并且用于在所述物体处于所述多个位置中的最近位置时对所述物体成像。

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