[发明专利]控制微振荡反射镜的驱动设备的方法、控制装置和偏转反射镜设备

权利要求书

1.一种用于控制微振荡反射镜(16)的驱动设备(18)的方法，其中

-生成至少一个致动信号(20)，并由此致动所述驱动设备(18)，使得所述驱动设备(18)以振荡方式驱动所述微振荡反射镜(16)，

-感测至少一个位置信号(26)，所述至少一个位置信号(26)表征所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)，

-基于所述至少一个位置信号(26)，闭环控制所述至少一个致动信号(20)，使得所述微振荡反射镜(16)以其共振频率被驱动，

其特征在于，

将所述至少一个位置信号(26)的振幅连续地与至少一个阈值(38a、38b、38c)进行比较，且在所述至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少两个通行之间确定至少一个时间间隔(42a、42b、42c)，并且基于所述至少一个时间间隔(42a、42b、42c)闭环控制所述至少一个致动信号(20)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，至少一个阈值(38a、38b、38c)被预先定义为恒定值，和/或至少一个阈值(38a、38b、38c)能够以可变方式来设定。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述至少一个位置信号(26)的零交叉被预先定义为阈值(38c)，

-和/或所述至少一个阈值(38a)被预先定义为在所述至少一个位置信号(26)的振幅的最大值(50、62)之间，

-和/或所述至少一个阈值(38b)的振幅被预先定义为低于在所述至少一个位置信号(26)的不同脉冲(48、58)的振幅的最大值(50、62)，

-其中，所述至少一个位置信号(26)的脉冲(48、58)的振幅的最大值(50、62)在所述至少一个位置信号(26)的周期内以相同的符号出现。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)通过阈值(38a；38b)的通行与所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下一个周期中通过相同阈值(38a；38b)的通行之间的时间间隔(42a)被确定，并且由此确定所述微振荡反射镜(16)的振荡的周期持续时间。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)通过第一阈值(38a)的通行与通过第二阈值(38b)的下一个通行之间的时间间隔(42b)被确定，并由此确定所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下降脉冲(58)处通过阈值(38c)的通行与所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下一个上升脉冲(48)处通过相同的阈值(38c)的通行之间的时间间隔(42c)被确定，

-和/或在所述至少一个位置信号在所述至少一个位置信号的上升脉冲处通过阈值的通行与所述至少一个位置信号在所述至少一个位置信号的下一个下降脉冲处通过相同的阈值的通行之间的时间间隔被确定，

-并且从所述至少一个时间间隔(42c)确定所述至少一个致动信号(20)与所述至少一个位置信号(26)之间的相位关系。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，

-在所述至少一个位置信号(26)的至少一个下降沿(54、64)中感测所述至少一个位置信号(26)通过所述至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少一个通行，

-和/或在所述至少一个位置信号的至少一个上升沿中感测所述至少一个位置信号通过所述至少一个阈值的至少一个通行。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，用至少一个数字/模拟转换器生成至少一个阈值(38a、38b、38c)，和/或用至少一个分压器生成至少一个阈值。