[发明专利]控制微振荡反射镜的驱动设备的方法、控制装置和偏转反射镜设备

说明书

描述了一种用于控制微振荡反射镜的驱动装置的方法、控制设备和偏转反射镜设备。在该方法中，生成至少一个致动信号(20)且将其用于控制驱动装置使得驱动装置以振荡的方式驱动微振荡反射镜。捕获表征微振荡反射镜的偏转(22)的至少一个位置信号(26)。基于至少一个位置信号(26)调节至少一个控制信号(20)，使得微振荡反射镜以其共振频率被驱动。将至少一个位置信号(26)的振幅与至少一个阈值连续地比较。在至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔被确定。基于至少一个时间间隔调节至少一个控制信号(20)。例如，控制信号(20)是脉冲宽度调制的信号。在该情况下，单极方波脉冲以周期性间隔生成。控制信号(20)的脉冲控制驱动装置的梳状驱动器，使得微振荡反射镜被激励以振荡。转换为振幅改变的梳状驱动器的梳状电容作为位置信号(26)被输出。为了使控制信号(20)的占空比适配于微振荡反射镜的共振频率，将位置信号(26)与阈值进行比较。在位置信号(26)通过阈值的特定通行之间确定对应的时间间隔。相应地，基于时间间隔调适控制信号(20)的占空比。

技术领域

本发明涉及一种用于控制微振荡反射镜的驱动设备的方法，其中

-生成至少一个致动信号，并由此致动驱动设备，使得其以振荡方式驱动微振荡反射镜，

-感测至少一个位置信号，该至少一个位置信号表征微振荡反射镜的偏转，

-基于至少一个位置信号，闭环控制至少一个致动信号，使得微振荡反射镜以其共振频率被驱动，

此外，本发明涉及一种用于控制微振荡反射镜的至少一个驱动设备的控制装置，该控制装置

-具有至少一个信号生成设备，用于生成至少一个致动信号，用该致动信号可以致动至少一个驱动设备，

-具有至少一个位置感测设备，用该位置感测设备可以感测表征微振荡反射镜的偏转的至少一个位置信号，

-并且具有至少一个设备，其以闭环可控的方式连接到至少一个信号生成设备，使得微振荡反射镜可以以其共振频率被驱动。

此外，本发明涉及一种光学检测装置的偏转反射镜设备，其具有

-至少一个微振荡反射镜，

-用于至少一个微振荡反射镜的至少一个驱动设备，以及

-用于控制至少一个驱动设备的控制装置，

-其中，控制装置具有

-至少一个信号生成设备，用于生成至少一个致动信号，用该致动信号可以致动至少一个驱动设备，

-至少一个位置感测设备，用该位置感测设备可以感测表征微振荡反射镜的偏转的至少一个位置信号，以及

-至少一个设备，其以闭环可控的方式连接到至少一个信号生成设备，使得微振荡反射镜可以以其共振频率被驱动。

背景技术

EP 2514211 B1公开了偏转单元，该偏转单元包括两层万向悬置的微反射镜作为偏转元件。偏转单元或微反射镜通过由致动装置供应的致动信号来驱动，该致动信号针对每个轮轴具有频率fl和f2作为致动频率。这些激励频率f1和f2旨在对应于反射镜的共振频率。所以，反射镜在其共振频率发生变化时可以用来跟踪变化，致动装置具有锁相环路，该锁相环路调整相位并因此调整致动信号的致动频率使得反射镜基本上以共振操作。为了感测相位角，测量装置配备为测量微反射镜的正弦偏转。

本发明基于以下目的：配置在开篇处提及的一类方法、控制装置和偏转反射镜设备，其中可以(特别是以较简单的技术手段)简化对微振荡反射镜的驱动设备的闭环控制。

发明内容