[发明专利]基板保持装置

说明书

本发明即便在变更了成为处理对象的基板的大小或材质等的情况下，也可对照变更后的基板调节支撑所述基板的位置。本发明包括：框体，载置由搬送装置所搬送的基板；以及基板交接机构，将由所述搬送装置搬送至所述框体的上方的所述基板交接至所述框体，且所述基板交接机构包含：支撑销，配置于所述框体的下方；支撑销进退机构，使所述支撑销在设定于所述框体的框内下侧的支撑销升降位置与设定于所述框体的框外的支撑销退避位置之间进退；以及支撑销升降机构，使通过所述支撑销进退机构而配置于所述支撑销升降位置的所述支撑销以穿过所述框体的框内来支撑所述基板的方式上升后下降。

技术领域

本发明涉及一种基板保持装置。

背景技术

作为朝处理室搬送在显示器等中所使用的基板时的机构，在专利文献1中公开有如下的机构：利用搬送装置朝处理室内的基板载置台上搬送基板后，使多个支撑销自基板载置台突出，并使所述多个支撑销升降，由此将基板自搬送装置交接至基板载置台。

但是，在所述专利文献1中公开的机构中，事先决定基板载置台上的多个支撑销的突出位置，因此在变更了成为处理对象的基板的尺寸或材质等的情况下，无法变更通过多个支撑销来支撑变更后的基板的位置。因此，若欲通过多个支撑销来支撑变更后的基板，则存在基板有时弯曲这一问题。而且，若基板的材质改变，则即便是同一尺寸的基板，重心也改变，因此必须重新适宜调节由支撑销所支撑的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-235393号公报

发明内容

发明所要解决的问题

因此，本发明的主要课题在于提供一种基板保持装置，所述基板保持装置即便在变更了成为处理对象的基板的大小或材质等的情况下，也可配合变更后的基板调节支撑所述基板的位置。

解决问题的技术手段

即，本发明的基板保持装置的特征在于包括：框体，载置由搬送装置所搬送的基板；以及基板交接机构，将由所述搬送装置搬送至所述框体的上方的所述基板交接至所述框体，且所述基板交接机构包含：支撑销，配置于所述框体的下方；支撑销进退机构，使所述支撑销在设定于所述框体的框内下侧的支撑销升降位置与设定于所述框体的框外的支撑销退避位置之间进退；以及支撑销升降机构，使通过所述支撑销进退机构而配置于所述支撑销升降位置的所述支撑销以穿过所述框体的框内来支撑所述基板的方式上升后下降。

若为此种基板保持装置，则可通过支撑销进退机构来使支撑销朝框内外移动，因此可在所述移动范围内自由地调节通过支撑销来支撑基板的位置。由此，即便在变更了基板的大小或材质等的情况下，也可配合变更后的基板而重新适宜调节通过支撑销来支撑基板的位置。

另外，通过采用所述基板交接机构，即便以所述框体为多个、且配置成多段状，所述支撑销配置于各个框体的下方的方式构成，当搬送载置有基板的框体时，也可通过支撑销进退机构来使各支撑销朝不成为搬送动作的障碍的位置退避。

在此情况下，也能够以配置于所述各框体的下方的支撑销由共同的所述支撑销进退机构及所述支撑销升降机构来驱动的方式构成。若为此种基板保持装置，则驱动配置于各框体的下方的支撑销的机构变成一个，可使基板保持装置小型化。

进而，当在处理室中对基板进行处理时，为了防止灰尘等附着于基板，有时将载置有基板的框体在垂直地立起的状态下朝处理室搬送。因此，也可进而包括使载置有所述基板的各框体立起成垂直状态的框体立起机构。

即便是此种基板保持装置，通过采用所述基板交接机构，当通过框体立起机构来使框体自水平状态立起成垂直状态时，也可通过支撑销进退机构来使各支撑销朝不成为立起动作的障碍的位置退避。

作为所述基板交接机构的具体的结构，所述支撑销进退机构也可为使所述支撑销在水平方向上回旋的机构。