[发明专利]传感器探针组件在审
| 申请号： | 201980041203.6 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN112703407A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | S·乔丹 | 申请（专利权）人： | 物理仪器（PI）两合有限公司 |
| 主分类号： | G01Q20/04 | 分类号： | G01Q20/04;G01B7/012;G01N21/95;G01Q70/02;G01Q70/10;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张婧晨;刘茜 |
| 地址： | 德国卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器 探针 组件 | ||
1.一种传感器探针组件，所述组件包括：
探针；以及
传感器组件，所述传感器组件联接到所述探针并被构造成测量与所述探针接近或接触的表面的物理特性或电特性；
其中，所述传感器组件围绕所述探针的中心轴线对称地安置。
2.根据权利要求1所述的组件，其中，所述传感器组件包括多于一个传感器，其中，所述传感器组件的所述传感器绕所述探针的所述中心轴线对称地安置。
3.根据权利要求1所述的组件，其中，所述传感器组件包括包围所述探针的单个圆柱形传感器。
4.根据权利要求1所述的组件，其中，所述传感器组件包括下表面，其中，所述下表面被构造成在所述传感器组件与所述表面不接触的情况下测量所述接触表面的物理特性或电特性。
5.根据权利要求4所述的组件，其中，所述传感器组件包括单板电容式位移传感器，并且所述表面是电极板。
6.根据权利要求1所述的组件，其中，所述探针被保持在可更换的固定装置中。
7.根据权利要求1所述的组件，其中，所述探针是电磁或材料发射的发射器或接收器。
8.一种传感器探针组件，所述传感器探针组件包括：
探针阵列；以及
传感器组件，所述传感器组件联接到所述探针阵列并被构造成测量与所述探针阵列接近或接触的表面的物理特性或电特性；
其中，所述传感器组件围绕所述探针阵列的中心轴线对称地安置。
9.根据权利要求8所述的组件，其中，所述探针阵列包括探针的纤维阵列。
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