[发明专利]溅射装置在审
| 申请号： | 201980041218.2 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN112313361A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 武井纯一;渡边直树;曽根浩;铃木直行 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射装置，其中，
该溅射装置具有：
处理容器，其收容基板；
狭缝板，其在所述处理容器内的所述基板的上方与所述基板的表面平行地配置，并具有在板厚方向上贯通的开口部；以及
受热用板，其在相对于所述狭缝板倾斜设置的靶材的下方载置于所述狭缝板之上，由耐热性比所述狭缝板的耐热性高的材料形成。
2.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，
所述受热用板配置于包括所述靶材投影于所述狭缝板而得到的投影图像整体的区域。
3.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，
所述受热用板具有凸部，该凸部用于在所述受热用板的下表面与所述狭缝板的上表面形成迷宫构造。
4.根据权利要求3所述的溅射装置，其中，
所述凸部遍及所述受热用板的外周部的整周地形成。
5.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，
所述狭缝板具有向上方突出的支承部，
所述受热用板利用所述支承部以从所述狭缝板的上表面分离开的方式被支承。
6.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，
所述受热用板的上表面与所述狭缝板的上表面大致齐平。
7.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，
所述狭缝板由铝形成，
所述受热用板由钛或者陶瓷形成。
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