[发明专利]溅射装置

说明书

本公开的一形态的溅射装置具有：处理容器，其收容基板；狭缝板，其在所述处理容器内的所述基板的上方与所述基板的表面平行地配置，并具有在板厚方向上贯通的开口部；以及受热用板，其在相对于所述狭缝板倾斜设置的靶材的下方载置于所述狭缝板之上，由耐热性比所述狭缝板的耐热性高的材料形成。

技术领域

本公开涉及一种溅射装置。

背景技术

已知一种溅射装置，其使溅射粒子从相对于基板的表面倾斜配置的靶材向基板发射，使溅射粒子穿过设于靶材与基板之间的狭缝板的开口部，而在基板形成膜(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-67856号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种能够抑制狭缝板的热变形的技术。

用于解决问题的方案

本公开的一技术方案的溅射装置具有：处理容器，其收容基板；狭缝板，其在所述处理容器内的所述基板的上方与所述基板的表面平行地配置，并具有在板厚方向上贯通的开口部；以及受热用板，其在相对于所述狭缝板倾斜设置的靶材的下方载置于所述狭缝板之上，由耐热性比所述狭缝板的耐热性高的材料形成。

发明的效果

采用本公开，能够抑制狭缝板的热变形。

附图说明

图1是表示第1实施方式的溅射装置的结构例的剖视图(1)。

图2是将图1所示的溅射装置的一部分放大表示的图。

图3是在图2的III-III线剖切而得到的溅射装置的剖视图。

图4是表示狭缝板的结构例的俯视图。

图5是表示狭缝板的结构例的立体图。

图6是图5的狭缝板的分解立体图。

图7是在图5的VII-VII线剖切而得到的狭缝板的剖视图。

图8是表示受热用板的结构例的立体图。

图9是表示第1实施方式的溅射装置的结构例的剖视图(2)。

图10是表示第1实施方式的溅射装置的结构例的剖视图(3)。

图11是表示第2实施方式的溅射装置的结构例的剖视图。

具体实施方式

以下，一边参照附图，一边对本公开的并非限定的例示的实施方式进行说明。所有附图中，对相同或对应的构件或部件标注相同或对应的附图标记，并省略重复的说明。

〔第1实施方式〕

(溅射装置)

对第1实施方式的溅射装置的结构例进行说明。图1是表示第1实施方式的溅射装置的结构例的剖视图。图2是将图1所示的溅射装置的一部分放大表示的图。图3是在图2的III-III线剖切而得到的溅射装置的剖视图。图4是表示狭缝板的结构例的俯视图，表示在从上方观察时的狭缝板。

如图1所示，溅射装置10具有：处理容器12、狭缝板14、受热用板15、保持件16、载置台18、移动机构20以及控制部80。