[发明专利]隔膜阀以及其监视方法

权利要求书

1.一种隔膜阀，其中，

所述隔膜阀具有：

阀体，其划定供流体流通的流路和在该流路的中途向外部开口的开口部；

挠性分隔壁构件，其覆盖所述开口部并将所述流路和外部隔开，且改变所述流路的截面积；

挠性支承构件，其配置于所述挠性分隔壁构件的与所述流路侧相反的背面侧；

壳体，其隔着所述挠性分隔壁构件的周缘部和所述挠性支承构件的周缘部而固定于所述阀体；以及

传感器，其用于检测所述挠性支承构件和所述壳体的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化。

2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，

所述挠性分隔壁构件设计成，与所述挠性支承构件相比，耐用期间较长。

3.根据权利要求1或2所述的隔膜阀，其中，

所述挠性分隔壁构件由对特定的气体的透过率不同于所述挠性支承构件的形成材料的材料形成。

4.根据权利要求1或2所述的隔膜阀，其中，

所述挠性分隔壁构件由透过水蒸气的材料形成，所述挠性支承构件由不透过水蒸气的材料形成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述传感器检测所述气氛中的特定气体的浓度或该浓度的变化，或者检测所述气氛中的湿度或该湿度的变化。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述传感器包括湿度传感器。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述湿度传感器为在中央具有孔的平板状。

8.根据权利要求1至6所述的隔膜阀，其中，

所述湿度传感器配置于所述挠性支承构件与压缩部之间。

9.根据权利要求8所述的隔膜阀，其中，

所述湿度传感器配置于压缩部表面。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述挠性分隔壁构件由聚合物形成。

11.根据权利要求10所述的隔膜阀，其中，

所述挠性分隔壁构件由聚四氟乙烯即PTFE形成。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述挠性支承构件由弹性体形成。

13.根据权利要求12所述的隔膜阀，其中，

所述挠性支承构件由从包括天然橡胶、丁腈橡胶、苯乙烯橡胶、丁二烯橡胶、异丁烯合成橡胶、聚氯丁二烯橡胶、丁基橡胶、氟橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶、三元乙丙橡胶即EPDM的组选择出的材料形成。

14.一种隔膜阀的监视方法，其是具有如下构件的隔膜阀的监视方法：阀体，其划定供流体流通的流路和在该流路的中途向外部开口的开口部；挠性分隔壁构件，其覆盖所述开口部并将所述流路和外部隔开，且改变所述流路的截面积；挠性支承构件，其配置于所述挠性分隔壁构件的与所述流路侧相反的背面侧；以及壳体，其隔着所述挠性分隔壁构件的周缘部和所述挠性支承构件的周缘部而固定于所述阀体，其中，

所述隔膜阀的监视方法具有如下步骤：

检测所述挠性支承构件和所述壳体的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化；以及

基于所述检测结果来判断异常。

15.根据权利要求14所述的隔膜阀的监视方法，其中，

在从所述检测开始到结束的期间内，切换向所述隔膜阀流通的流体。

16.根据权利要求14或15所述的隔膜阀的监视方法，其中，

切换向所述隔膜阀流通的流体，

在该切换后，检测空间内的气氛的状态或该状态的变化，

在满足了预定条件时结束所述检测。