[发明专利]隔膜阀以及其监视方法

说明书

提供一种能够事先避免由于隔膜的破损而隔膜阀内的流体向外部漏出的隔膜阀。该隔膜阀具有：阀体(10)，其划定供流体流通的流路(11)和在该流路的中途向外部开口的开口部(12)；挠性分隔壁构件(21)，其覆盖开口部(12)并将流路(11)和外部隔开，且改变流路(11)的截面积；挠性支承构件(22)，其配置于挠性分隔壁构件(21)的与流路侧相反的背面侧；壳体(41)，其隔着挠性分隔壁构件(21)的周缘部和挠性支承构件(22)的周缘部而固定于阀体(10)；以及湿度传感器(100)，其检测挠性支承构件(22)和壳体(41)的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化。

技术领域

本发明涉及隔膜阀以及其监视方法。

背景技术

隔膜阀被广泛用于生物工程、制药、化学、食品加工、饮料、化妆品、以及半导体行业。在这些行业需要一种在阀、作业场所、以及周边环境内防止产品污染、泄漏的阀。

隔膜阀的隔膜存在橡胶制等各种。从隔膜所要求的变形量、耐腐蚀性、防止在阀内流通的流体的污染等观点出发，已知有由配置于液体接触侧的氟基树脂等聚合物制的挠性分隔壁构件和弹性体制的挠性支承构件构成的所谓的双片型的隔膜，该挠性支承构件配置于该挠性分隔壁构件的与液体接触侧相反的背面侧且以缓冲(cushion)为主要目的(例如，参照专利文献1、2)。

双片型的隔膜在清洁度、耐久性方面优于橡胶制的隔膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-500455号公报

专利文献2：日本特开平08-303617号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1、2公开了设置用于检测液体接触侧的挠性分隔壁构件的破损的传感器的技术。

然而，在该技术中，存在以下可能性：在检测到液体接触侧的挠性分隔壁构件的破损时，隔膜阀内的流体已经向外部漏出。

本发明的目的之一在于提供一种能够事先避免由于隔膜的破损而引起隔膜阀内的流体向外部漏出的隔膜阀以及该隔膜阀的监视方法。

用于解决问题的方案

本发明的隔膜阀具有：

阀体，其划定供流体流通的流路和在该流路的中途向外部开口的开口部；

挠性分隔壁构件，其覆盖所述开口部并将所述流路和外部隔开，且改变所述流路的截面积；

挠性支承构件，其配置于所述挠性分隔壁构件的与所述流路侧相反的背面侧；

壳体，其隔着所述挠性分隔壁构件的周缘部和所述挠性支承构件的周缘部而固定于所述阀体；

以及传感器，其用于检测所述挠性支承构件和所述壳体的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化。

优选的是，所述挠性分隔壁构件设计成，与所述挠性支承构件相比，耐用期间较长。

能够采用这样的结构：所述挠性分隔壁构件由对特定的气体的透过率不同于所述挠性支承构件的形成材料的材料形成。

尤其是，能够采用这样的结构：所述挠性分隔壁构件由透过水蒸气的材料形成，所述挠性支承构件由不透过水蒸气的材料形成。

在该情况下，能够采用这样的结构：所述传感器包括湿度传感器。