[发明专利]使用可流动CVD对用于光学部件的微米/纳米结构所进行的间隙填充

说明书

本公开内容的实施方式一般涉及一种用于形成光学部件的方法，该光学部件例如用于虚拟现实或扩增实境显示设备。一个实施方式中，该方法包括，在基板上形成具有图案的第一层，且该第一层具有第一折射率。该方法进一步包括，通过可流动化学气相沉积(FCVD)工艺在该第一层上形成第二层，且该第二层具有小于该第一折射率的第二折射率。

技术领域

本公开内容的实施方式一般涉及用于扩增、虚拟、及混合实境的显示设备。更特定而言，本文描述的实施方式提供了一种用于形成显示设备所用的光学部件的方法。

背景技术

一般认为虚拟现实是计算机生成的仿真环境，在该环境中用户有明显的实体存在感。虚拟现实的体验能够以3D生成，且利用头戴式显示器(HMD)观看，该显示器例如眼镜或是具有近眼显示面板作为镜头的其他可穿戴式显示设备，用以显示取代真实环境的虚拟现实环境。

扩增实境实现了一种体验，其中使用者仍能够透过眼镜或其他HMD装置的显示镜头看见，以观看周围环境，也还能够看见为显示而生成的虚拟物体且作为环境的一部分出现的影像。扩增实境能够包括任何类型的输入，例如声音和触觉输入，以及增强或扩增使用者所体验的环境的虚拟图像、图形、和录影。

虚拟现实和扩增实境显示设备都利用光学部件，例如波导或平坦透镜/超颖表面(meta surface)，包括具有对比折射率(RI)的微米或纳米结构。在常规上，使用光、电子束、或纳米压印光刻工艺图案化具较低RI的层，且使用原子层沉积(ALD)工艺在经图案化的较低RI层上形成具有较高RI的层。然而，ALD工艺的膜沉积速率非常慢。

因此，需要一种用于形成用于虚拟现实或扩增实境显示设备的光学部件的改良方法。

发明内容

本公开内容的实施方式一般涉及一种用于形成光学部件的方法，该光学部件例如用于虚拟现实或扩增实境显示设备。一个实施方式中，该方法包括，在基板上形成具有图案的第一层，且该第一层具有第一折射率。该方法进一步包括，通过可流动化学气相沉积工艺在该第一层上形成第二层。该第二层具有小于该第一折射率的第二折射率。

另一实施方式中，一种方法包括在基板上形成具有图案的第一层。该第一层具有范围从约1.7至约2.4的第一折射率。该方法进一步包括，通过可流动化学气相沉积工艺在该第一层上形成第二层。该第二层具有范围从约1.1至约1.5的第二折射率。

另一实施方式中，一种方法包括在基板上形成具有第一图案的第一层。该第一层具有第一折射率且包括金属氧化物。该方法进一步包括，通过可流动化学气相沉积工艺在该第一层上形成第二层。该第二层具有范围从约1.1至约1.5的第二折射率。

附图说明

以上简要概述本公开内容的上述详述特征可以被详细理解的方式、以及对本公开内容的更特定描述，可通过参照实施方式来获得，其中一些实施方式绘示于所附图式中。然而，应注意，所附的图式仅绘示示例性实施方式，因而不应视为对本公开内容的范围的限制，且可容许其他等同有效的实施方式。

图1图示根据本文所述的一个实施方式的处理腔室的示意性横截面视图。

图2A至图2D图示了根据本文所述的一个实施方式的在不同阶段期间的光学部件的示意性横截面视图。

图3A至图3D图示了根据本文所述的个实施方式的光学部件的示意性横截面视图。

为了便于理解，尽可能地使用相同的附图标号标示图式中共通的相同元件。考虑到一个实施方式的元件和特征在没有进一步描述下可有利地并入其他实施方式中。

具体实施方式